[发明专利]加工设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种板状物体的加工设备，特别是板状物体的曝光设备，所述加工设备具有曝光装置和载物台，所述载物台具有用于容纳物体的载物台面，其中，曝光装置和载物台为曝光物体而能彼此相对运动。

背景技术

这样的加工设备是公知的。

这样的加工设备例如用于激光加工板状物体。

但也可以考虑的是，将这样的加工设备用作用于板状物体的—特别是用于具有光敏涂层的板状物体的曝光设备，其中，光敏涂层内的结构可以通过光刻技术来产生。

这样的加工设备方面存在的问题是，在将板状物体放置在载物台上或者在两侧进行加工，特别是进行曝光时，需要将物体在载物台上分别以限定的方式加以定位。

发明内容

因此，本发明基于如下的任务，即：对依据类属的类型的加工设备以如下方式进行改进，方式为：将板状物体相对于载物台的位置能得到精准地确定。

该任务在一种开头所述类型的加工设备中依据本发明以如下方式得以实现，即：为检测物体在载物台上的位置，设置有边沿检测装置，所述边沿检测装置包括至少一个在载物台内设置于载物台面下方的边沿照明单元，该边沿照明单元在物体边沿区域的至少一部分内具有照明区，在该照明区的内部，处于相应物体边沿区域内的物体边沿被从载物台的侧面呈面状发射的光加以照亮；以及与载物台面相距地在物体的与载物台相对的侧上设置有至少一个边沿图像检测单元，该边沿图像检测单元将物体边沿的处于照明区内的边沿段作为边沿图像成像到图像面上；以及利用至少一个边沿图像检测单元可以位置精确地相对于载物台来检测相应的边沿图像。

依据本发明的解决方案的优点在于，采用这种解决方案以简单方式存在如下可能性，即：精确地检测物体边沿在载物台上的位置，并且因此使在物体上产生的结构相对于物体边沿得到精确地取向。

这一点例如在复杂结构的情况下是具有优点的，其中，在物体的一个表面上的结构必须与物体另外那个表面上的结构相匹配，以便例如可以使结构相互关联。

对物体边沿检测的精确性特别是可以通过如下方式得到提高，即：至少一个边沿图像检测单元的光学器件构成为焦阑物镜。

这样的焦阑物镜的优点是，该焦阑物镜仅将平行于这样物镜光轴的光束成像到图像面上，从而由此可以将相应物体边沿的精确阴影图像成像到图像面上。

为避免由于倾斜分布的边沿面而引起有误差的边沿图像，优选设置为：焦阑物镜的光轴与到载物台面的垂线最大偏差5°。

因此，图像面上的边沿图像通过所有基本上在相对于载物台面的垂直方向上分布的光束来成像，从而物体边沿的倾斜的边沿面始终给出相同的阴影图像。

边沿图像检测单元的图像面例如可以是如下的图像面，在图像面中，加工设备的操作者直接用眼睛或光学器件就能识别到物体边沿在边沿图像中的位置。

但依据一种特别有利的解决方案设置为：图像面是能对边沿图像加以检测的图像传感器的图像面。

这种传感器可以是任何类型的光学传感器。

为可以对物体边沿位置进行精确确定，有利的是，图像传感器是摄像机图像传感器，从而利用摄像机图像传感器的解析，可以检测物体边沿在摄像机图像传感器上的位置。

原则上，边沿图像检测单元可以这样构成，即，该边沿图像检测单元对所配属的照明区进行全面检测。

但边沿检测区的这样的构成方案的结果是光学器件相应复杂。

为能以尽可能简单的手段来构造边沿图像检测单元，优选设置为：至少一个边沿图像检测单元的光学器件具有检测区，该检测区具有比相应的照明区更小的面伸展。

因此，存在使用成本低廉的光学器件的可能性。

原则上，当各物体边沿的位置被近似地确定，并且各物体边沿定位的不明晰部处在检测区内部时，边沿图像检测单元可以相对于照明区固定地定位。

但为即便在物体边沿的位置方面较大差别的情况下—只要这些物体边沿处于相应的照明区内—就仍可以工作，则优选设置为：检测区和照明区可以彼此相对运动。因此存在的可能性是，以简单方式通过检测区和照明区的相对运动，利用检测区对整个照明区以还算连续不断的方式进行检测。

在这种情况下，特别是设置为：检测区能至少以如下程度运动，即：直至物体边沿处于检测区内。

在此，依据一种特别有利的解决方案，检测区可以沿横向于各所要检测的物体边沿的方向运动。

作为对此的选择，设置有如下有利的解决方案，检测区可以沿各所要检测的物体边沿的方向运动。