[发明专利]抛光垫背板

权利要求书

1.一种用于抛光垫的背板，所述背板包括：

基本上为圆形的盘，所述盘具有第一表面，所述第一表面适于连接至第一抛光介质的非工作面；

所述盘具有中心毂，所述中心毂中带有轴向开口，所述中心毂适于将所述背板连接至动力抛光机的轴；

所述开口由多个直壁形成，其中相邻壁的末端被彼此间隔开而不直接相互连接。

2.根据权利要求1所述的用于抛光垫的背板，其中所述相邻壁的末端之间的空间由圆形凹槽形成。

3.根据权利要求1所述的用于抛光垫的背板，其中所述盘具有第二表面，所述第二表面适于连接至第二抛光介质的非工作面，以形成双面抛光垫。

4.根据权利要求1所述的用于抛光垫的背板，其中所述开口由基本上成规则六边形图案布置的六个壁形成。

5.根据权利要求1所述的用于抛光垫的背板，其中形成所述中心毂的轴向开口的直壁具有环绕所述开口的槽。

6.根据权利要求1所述的用于抛光垫的背板，其中几个形成所述中心毂的轴向开口的直壁带有凹坑。