[发明专利]扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种扫描电子显微镜，包括电子光学柱镜筒架和试样室的扫描电子显微镜主体与该扫描电子显微镜主体的控制机构配置在同一机箱内，该扫描电子显微镜的特征在于，

具备：配置在上述机箱、上述扫描电子显微镜主体及上述控制机构的下部的底板；

设在上述底板的上述控制机构侧的底面上的第一支脚部；

设在上述底板的上述扫描电子显微镜侧的开口；以及

以固定在上述扫描电子显微镜主体的底面、并且贯通上述开口的方式配置的缓冲器。

2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

构成为，上述缓冲器与上述设置面直接接触。

3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

具备设在上述开口的下部的第二支脚部，

上述缓冲器固定在第二支脚部的内壁面。

4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

具备用于使上述扫描电子显微镜主体追踪上述底板或上述机箱的移动的追踪机构。

5.根据权利要求4所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

上述追踪机构具备：

与上述缓冲器固定，并且与上述底板分离地设在该底板的上述设置面侧的板部件；

设在上述板部件与底板之间的弹簧；以及

将该弹簧固定在上述底板的底面及上述板部件的表面的固定机构。

6.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

具备：设在上述底板的上表面侧、并且具有开口的底架；以及

安装在上述试样室上、并且插入上述开口的销。

7.一种扫描电子显微镜，包括电子光学柱镜筒架和试样室的扫描电子显微镜主体与该扫描电子显微镜主体的控制机构配置在同一机箱内，该扫描电子显微镜的特征在于，

具备：配置在上述机箱、上述扫描电子显微镜主体及上述控制机构的下部的底板；

设在上述底板的上述控制机构侧的底面上的第一支脚部；

设在上述底板的上述扫描电子显微镜侧的底面上的第二支脚部；以及

固定在上述扫描电子显微镜主体的底面、并且与上述第二支脚部固定在同轴上的缓冲器。

8.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

上述缓冲器通过设在上述底板上的贯通孔与上述缓冲器的内壁面固定。

9.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

上述第二支脚部与上述底板由不同部件构成。

10.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

上述第二支脚部是与上述底板一体成型的部件。

11.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

还具备设在上述第二支脚部的底面上的支承部件。

12.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

在上述扫描电子显微镜主体的下表面至少配置四个上述缓冲器，

在上述底板的上述控制机构侧下表面至少配置两个上述第一支脚部。

13.一种扫描电子显微镜，包括电子光学柱镜筒架和试样室的扫描电子显微镜主体与该扫描电子显微镜主体的控制机构配置在同一机箱内，该扫描电子显微镜的特征在于，

具备：配置在上述扫描电子显微镜主体及上述控制机构的下部的底板；以及

配置在上述底板的底面上的多个支脚部，

该多个支脚部中的配置在上述扫描电子显微镜主体的下表面的支脚部具有振动吸收性，

另外，就上述支脚部的个数而言，在上述底板的上述扫描电子显微镜主体侧的个数比在上述控制机构侧的个数多。

14.根据权利要求13所述的扫描电子显微镜，其特征在于，

具备：与上述一对支脚部对应地设置在上述底板的上述扫描电子显微镜主体的下表面侧的贯通孔；以及

固定在上述扫描电子显微镜主体的底面上的多个缓冲器，

由该多个缓冲器通过上述贯通孔与上述支脚部的内壁面固定，使该支脚部具有振动吸收性。