[发明专利]图案形成装置、图案形成方法以及装置制造方法

权利要求书

1.一种图案形成装置，用于在拉长片材料的预定区域中形成预定图案，所述图案形成装置包括：

张力施加装置，将二维张力施加到包括所述片材料的所述预定区域的部分；

吸附装置，包括具有平坦参考表面的参考表面构件，并且使得所述参考表面吸附与施加有所述二维张力的所述片材料的所述预定区域对应的后表面部分；以及

照射装置，将对应于所述图案的能量束照射到吸附到所述参考表面的所述片材料的所述预定区域。

2.根据权利要求1所述的图案形成装置，

其中，所述张力施加装置包括多个吸附支持构件，所述多个吸附支持构件吸附所述片材料的所述预定区域外的后表面部分，以及

其中，所述多个吸附支持构件设置在所述参考表面构件的外围中，以沿平行于所述参考表面构件的二维平面相对能够移动。

3.根据权利要求2所述的图案形成装置，

其中，所述多个吸附支持构件包括至少一对第一吸附支持构件，所述至少一对第一吸附支持构件中的至少一个设置在跨越台架的所述参考表面构件、与垂直于第一轴的第二轴平行的方向上的一侧和另一侧中的各侧上，并在平行于至少所述第二轴的方向上能够移动，所述第一轴与长度方向平行。

4.根据权利要求3所述的图案形成装置，

其中，所述张力施加装置包括驱动系统，所述驱动系统单独地驱动所述多个吸附支持构件的一部分，所述多个吸收支持构件的一部分包括所述多个吸附支持构件当中的至少所述一对第一吸附支持构件，以及

其中，所述驱动系统包括针对所述多个吸附支持构件的一部分中的每个设置的并行链接和驱动所述并行链接的驱动装置。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的图案形成装置，还包括：

改变装置，在与所述二维平面垂直的方向上驱动所述多个吸附支持构件和所述参考表面构件中的至少一个，以能够改变在与所述二维平面垂直的方向上、所述多个吸附支持构件与所述参考表面构件之间的相对位置。

6.根据权利要求5所述的图案形成装置，

其中，所述改变装置通过使得所述参考表面构件与对应于所述片材料的所述预定区域的所述后表面部分接触来改变所述相对位置，其中所述预定区域外的相应后表面部分由所述多个吸附支持构件支持。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的图案形成装置，还包括：

片运输装置，包括至少两个驱动辊并且在长度方向上运输所述片材料，所述至少两个驱动辊被设置成在所述片材料的长度方向上远离彼此并且在与所述片材料接触的同时旋转，

其中，所述张力施加装置通过在所述片材料的运输期间停止位于所述片材料的运输方向的下游侧的驱动辊的旋转，在长度方向上向所述片材料施加张力。

8.根据权利要求7所述的图案形成装置，还包括：

夹持装置，通过在使用所述驱动辊运输所述片材料期间，使用一对夹持构件夹住所述片材料，暂时停止所述片材料的运输。

9.根据权利要求8所述的图案形成装置，

其中，所述夹持装置夹住所述片材料的所述预定区域外的部分。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的图案形成装置，

其中，所述片运输装置包括多个辊，所述多个辊包括与所述片材料的前表面或后表面接触的驱动辊，并且位于所述片材料的所述前表面上的辊仅在垂直于长度方向的方向上与所述片材料的所述预定区域的两侧部分接触。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的图案形成装置，还包括：

标记检测系统，检测所述片材料上的多个标记；以及

控制装置，通过使用所述标记检测系统检测附于所述片材料上的所述预定区域的多个定位标记的至少一部分，以便基于检测结果对所述张力施加装置施加到包括所述片材料的所述预定区域的部分的二维张力进行校正。