[发明专利]干泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种容积式干泵。

本申请基于2009年8月14日在日本提出的特愿2009-187974号要求优先权，在此援引其内容。

背景技术

为了进行排气而利用干泵。干泵具备在气缸内收容转子的泵室。干泵通过使转子在气缸内旋转，压缩废气并使废气移动，并以使设置于吸入口的密闭空间减压的方式进行排气(例如参照专利文献1)。特别是，在为了在密闭空间中获得中度真空或良好的真空而进行排气时，利用多级干泵，该多级干泵在中心气缸内形成多个泵室，并将该多个泵室从废气的吸入口向吐出口串联连接(例如参照专利文献2)。

当运转干泵时，废气在泵室中被压缩而发热，气缸温度上升。例如，多级干泵在希望获得一般良好的极限压力时，配置在接近极限压力的大气侧(吐出侧)泵室的泵室的内压高于配置在真空侧的泵室的内压。因此，配置在大气压侧的泵室中的发热量变大。

因此，例如已知有一种多级干泵通过冷却液槽冷却外周气体通路，并形成有用于将流过该外周气体通路的气体的一部分导入泵室的逆流口(例如参照专利文献3)。这种泵室的冷却方式被称为逆流冷却，通过将由冷却液槽冷却的气体的一部分导入泵室(逆流)，能够抑制泵室的温度上升。

专利文献1：特表2004-506140号公报

专利文献2：特开2003-166483号公报

专利文献3：特开平8-100778号公报

然而，如上所述的逆流冷却方式的多级干泵需要在外周气体通路和泵室之间形成逆流口，中心气缸的结构复杂，因此具有制造成本高，维修所需的作业负担增加的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的是以低成本提供一种干泵，其能够通过降低局部的温度不均匀来提高排气效率。

为了解决上述问题，本发明提供如下的干泵。

即，本发明的干泵具有中心气缸及侧盖，所述中心气缸具备：多个泵室，包括与吸入口连通的上级泵室和与吐出口连通的下级泵室；多个转子，分别收容于所述多个泵室的内部；转子轴，作为所述转子的旋转轴；以及侧面，与所述转子轴的轴心方向交叉，邻接于所述下级泵室，且形成有通气孔，所述侧盖通过覆盖包含所述通气孔的所述侧面而形成空间。

在本发明的干泵中，所述通气孔可使内压彼此不同的所述多个泵室中最高压的泵室与所述空间连通。

在本发明的干泵中，所述空间可由形成在所述侧盖上的凹部和所述侧面限定。

在本发明的干泵中，所述空间可由形成在所述侧面上的凹部和所述侧盖限定。

在本发明的干泵中，在所述侧盖的外表面上可形成有凹凸部。

干泵通过转子的压缩功等发热。而且，各泵室的发热量在希望获得一般良好的极限压力时，越是接近极限压力的大气侧(吐出侧)泵室内压越高。在本发明的干泵中，流入泵室的气体的一部分经由形成在中心气缸的侧面上的通气孔流入形成于侧盖和中心气缸的侧面之间的空间(气密室)。

由于侧盖以较宽的面积与外部空气接触，因此空间内的热量通过侧盖迅速散热。即，通过使流入泵室的气体的一部分流入空间内，能够有效地抑制发热较多的泵室的温度上升。

附图说明

图1是表示本发明的干泵的一例的侧面剖视图。

图2是表示本发明的干泵的一例的正面剖视图。

图3是表示本发明的干泵的变形例的正面剖视图。

图4是表示本发明的干泵的变形例的侧面剖视图。

图5A是表示吸入口压力与排气速度关系的图表。

图5B是表示吸入口压力与动力的关系的图表。

图5C是表示吸入口压力与泵温的关系的图表。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的干泵的实施方式。在此，为了更好地理解发明宗旨，具体地说明本发明的实施方式。本发明的技术范围并不局限于以下实施方式，在不脱离本发明宗旨的范围内能够进行各种变更。此外，在以下说明中使用的各附图中，为了使各结构要素成为在图中可识别的大小，使各结构要素的尺寸及比例适当地不同于实际尺寸及比例。

图1是表示本发明的干泵的侧面剖视图。此外，图2是在图1中沿A-A线而获得的正面剖视图。多级干泵1具备中心气缸30和分别固定于该中心气缸30的两个侧面30a、30b的侧盖44(第一侧盖)及副侧盖46(第二侧盖)。中心气缸30中形成有气缸31、32、33、34、35。