[发明专利]衍射光栅、使用该衍射光栅的有机EL元件及其制造方法

权利要求书

1.一种衍射光栅，其特征在于，是具备透明支撑基板、以及层叠于所述透明支撑基板上并且表面形成有凹凸的固化树脂层的衍射光栅，

在对凹凸解析图像施以二维高速傅立叶变换处理而得到傅立叶变换图像的情况下，所述傅立叶变换图像显示以波数的绝对值为0μm^-1的原点作为大致中心的圆状或者圆环状的图案，而且，所述圆状或者圆环状的图案存在于波数的绝对值为10μm^-1以下的范围内的区域内，

所述凹凸解析图像是使用原子力显微镜来解析形成于所述固化树脂层的表面的凹凸的形状而得到的凹凸解析图像。

2.如权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，

所述图案为圆环状的图案，并且该圆环状的图案存在于波数的绝对值为1.25～5μm^-1以下的范围内的区域内。

3.如权利要求1或者2所述的衍射光栅，其特征在于，

形成于所述固化树脂层的表面的凹凸的平均高度为20～200nm的范围。

4.如权利要求1～3中的任意一项所述的衍射光栅，其特征在于，

形成于所述固化树脂层的表面的凹凸的平均间隔为100～600nm的范围。

5.如权利要求1～4中的任意一项所述的衍射光栅，其特征在于，

形成于所述固化树脂层的表面的凹凸的深度分布的平均值以及中央值满足下述不等式(1)所示的条件：

0.95×Y≤M≤1.05×Y    (1)

式(1)中，Y表示通过计算式：Y＝1.062m-2.2533而求得的值，其中m表示凹凸的深度分布的平均值，M表示凹凸的深度分布的中央值。

6.如权利要求1～5中的任意一项所述的衍射光栅，其特征在于，

形成于所述固化树脂层的表面的凹凸的尖度为-1.2以上的值。

7.如权利要求1～6中的任意一项所述的衍射光栅，其特征在于，

形成于所述固化树脂层的表面的凹凸的尖度为-1.2～1.2范围内的值。

8.一种衍射光栅的制造方法，其特征在于，是包含通过在透明支撑基板上涂布固化性树脂，压上模具使所述固化性树脂固化，然后拆去所述模具，从而将形成有凹凸的固化树脂层层叠于所述透明支撑基板上的工序的衍射光栅的制造方法，

其中，所述模具是通过下述的模具制造方法(A)以及(B)中的任一方法制得的模具，

模具制造方法(A)，包含以下工序：

将含有嵌段共聚物以及溶剂的嵌段共聚物溶液涂布于基材上的工序，其中，所述嵌段共聚物具备由第1均聚物构成的第1聚合物链段和由第2均聚物构成的第2聚合物链段，所述第2均聚物的溶解度参数比所述第1均聚物的溶解度参数高0.1～10(cal/cm³)^1/2，而且所述嵌段共聚物完全满足下述条件(i)～(iii)：

(i)数均分子量为500000以上，

(ii)分子量分布(Mw/Mn)为1.5以下，

(iii)所述第1聚合物链段与所述第2聚合物链段的体积比(第1聚合物链段∶第2聚合物链段)为3∶7～7∶3；以及

通过干燥所述基材上的涂膜，形成所述嵌段共聚物的微相分离结构，从而得到表面形成有凹凸的第1模具的工序；

模具制造方法(B)，包含以下工序：

通过在70℃以上的温度条件下，将蒸镀膜形成于聚合物膜的表面，然后冷却所述聚合物膜以及所述蒸镀膜，从而在所述蒸镀膜的表面由褶皱形成凹凸的工序，所述聚合物膜由因热而发生体积变化的聚合物构成；以及，

使模具材料附着于所述蒸镀膜上并使其固化，然后从所述蒸镀膜拆去固化后的模具材料从而得到模具的工序。

9.如权利要求8所述的衍射光栅的制造方法，其特征在于，

在所述模具制造方法(A)的得到所述第1模具的工序中，以高于所述嵌段共聚物的玻璃转化温度的温度加热所述干燥后的涂膜。

10.如权利要求8或者9所述的衍射光栅的制造方法，其特征在于，

在所述模具制造方法(A)的得到所述第1模具的工序中，对所述干燥后的涂膜施以蚀刻处理。