[发明专利]离子发生器和静电荷消除系统

说明书

技术领域

本发明涉及离子发生器和静电荷消除系统，其用于在空气离子被鼓吹到带静电荷的物体，并且当所述静电荷将从所述物体被消除时，通过中和所述静电荷来消除物体中的静电荷。

背景技术

用于消除物体(如，IC芯片或具有绝缘性质的电子部件)中的静电荷的离子发生器的实例是在官方公报JP-A-2004-234972中描述的空气鼓吹型离子发生装置。在官方公报JP-A-2004-234972的第0021段中，描述了如下的一种生成空气离子的装置。“离子发生器9包括：环形对向电极14，其附着在空气离子引导缸12的外周长上，空气离子引导缸12由与覆盖物11的前部连接的绝缘材料制成；以及8个放电针15，其在空气离子引导缸13中沿对向电极14的外周方向以规则间隔径向布置。这些放电针15被植入杆型电极夹持器16中，电极夹持器16由布置在空气离子引导缸13的中心部分中的绝缘材料制成。布置在壳体4的内底部中的高电压AC电源17的输出电线17a经嵌入在电极夹持器16中的导体18连接到放电针15。高电压电源17的返回电线17b连接到对向电极14。在放电针15和对向电极14之间产生电晕放电，以生成正负空气离子。”

在第0022段至第0024段中，描述了如下的一种用于从放电针的顶端去除灰尘的清洁装置。“清洁装置10包括：杆形旋转构件20，其在风力作用下旋转，具有翅片部分19，从空气鼓吹装置8传送的气流撞击翅片部分19；以及刷子构件21，其通过翅片部分19附着于旋转构件20(0022)。旋转构件20的纵向方向上的中心被布置在电极夹持器16前部的支撑部分22支撑。旋转构件20可以绕着与对向电极14的环形中心同心的轴自由地旋转(0023)。刷子构件21由诸如尼龙树脂或丙烯酸类树脂之类的塑料制成。刷子构件21附着于径向方向上的某一位置处，该位置对应于从对向电极14的环形中心通过刷子附着构件23直至各放电针15的顶端的距离。当旋转构件20旋转时，刷子构件21接触放电针15的顶端(0024)。”

发明内容

通常，用于操作具有电扇的离子发生器的操作电流大致是1A。然而，当增加清洁功能来清洁放电电极(放电针)时，要在离子发生器的操作电流的基础上加上用于驱动刷子进行清洁的电流。因此，总电流翻了数倍。在制造电子部件的生产线(如，半导体生产线)中使用多个离子发生器的情况下，通过主电源开关总体上使多个离子发生器的电源导通和截止。因此，用于同时操作所有离子发生器的总电流消耗进一步增加。例如，当多个离子发生器用于IC处理器(半导体芯片传送装置)时，必须充分增大IC处理器的电流能力，使得即使当所有的离子发生器消耗各自最大的电流消耗时，装置的操作也不会受到影响。

在本发明的实施例中，提供了离子发生器和静电荷消除系统，其中在同时使用具有诸如清洁功能之类的可选功能的多个离子发生器或者使用具有多个可选功能的离子发生器的情况下，当功能部分的操作时序移位时，功能部分可以在不增加电流消耗的情况下进行操作。

在一个实施例中，本发明提供了一种离子发生器，其用于当空气离子被鼓吹到带静电荷的物体并且当所述静电荷将从所述物体被消除时，通过中和所述静电荷来消除所述物体中的静电荷，所述离子发生器包括：控制部分；功能部分，当从所述控制部分向所述功能部分发送指令时，所述功能部分进行操作；第一计时器，所述第一计时器用于测量从电源导通的时刻到所述功能部分第一次执行操作的时刻的等待时间；以及第二计时器，所述第二计时器用于测量循环时间，使得所述功能部分可在第二次或随后将所述操作重复执行预定的循环时间。

在另一个实施例中，本发明提供了一种具有多个离子发生器的静电荷消除系统，所述多个离子发生器用于当空气离子被鼓吹到带静电荷的物体并且当所述静电荷将从所述物体被消除时，通过中和所述静电荷来消除所述物体中的静电荷，其中由公共电源向所述多个离子发生器提供电功率，各离子发生器包括：控制部分；功能部分，当从所述控制部分向所述功能部分发送指令时，所述功能部分进行操作；第一计时器，所述第一计时器用于测量从电源导通的时刻到所述功能部分第一次执行操作的时刻的等待时间；以及第二计时器，所述第二计时器用于测量循环时间，使得所述功能部分可在第二次或随后将所述操作重复执行预定的循环时间，其中在所述功能部分的操作时序移位的同时，各离子发生器操作所述功能部分。

根据本发明的离子发生器和静电荷消除系统，当可选功能的操作时序移位时，可以在不增加电流消耗的情况下操作可选功能。由于以上原因，导致可以同时使用具有诸如清洁功能之类的可选功能的多个离子发生器。另外，可以使用具有多个可选功能的静电荷消除装置。