[发明专利]上游体积质量流量检验系统和方法

权利要求书

1.一种用于检测质量流量测量装置的性能的上游质量流量检验系统，所述系统包括：

上游体积，能够存储检测流体；

温度传感器，用于感测上游体积内的温度；

压力传感器，用于感测上游体积内的流体压力；以及

处理器，被配置成计算通过质量流量控制器的检测流体的流速，且补偿由质量流量控制器内的死体积导致的误差。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，死体积设置为零。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，死体积由系统的用户输入。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，流速在温度稳定之后确定。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括用于控制检测流入所述体积内的流体的流量的输入阀，以及用于控制从所述体积通过质量流量测量装置的流体的流量的输出阀，其中关闭输出阀以及打开输入阀，以便填充该体积，直到其达到可测量的压力水平，然后关闭输入阀，打开输出阀，以允许流体从所述体积流动通过质量流量测量装置。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，流量根据下述等式进行测量：

Q=(Vt-Vd)·TstpR·Pstp·T·dPdt]]>

其中Q为测量的流速，

V_t是MFV系统的总体积，

V_d表示检测状态下的质量流量测量/传输装置的死体积，

R是通用气体常数，

P和T分别是气体压力和温度，以及

P_stp和T_stp分别是标准压力(1.01325e5Pa)和标准温度(273.15K)。

7.一种用于检验质量流量测量装置的性能的方法，包括：

在固定体积内建立检测流体的压力水平；

打开阀，以便将检测流体从所述体积传输通过检测质量流量测量装置；

作为检测流体的温度和检测流体从所建立的水平的压力变化率的函数，确定通过质量流量测量装置的质量流速，其中计算补偿由检测状态下的质量流量传输/测量装置内的死体积导致的误差。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括输入从质量流量传输/测量装置的制造商接收的死体积的值。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，输入值为零。

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在温度稳定之后计算流速。

11.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，确定质量流速包括根据下述等式测量流量：

Q=(Vt-Vd)·TstpR·Pstp·T·dPdt]]>

其中Q为测量的流速，

V_t是MFV系统的总体积，

V_d表示检测状态下的质量流量测量/传输装置的死体积，

R是通用气体常数，

P和T分别是气体压力和温度，以及

P_stp和T_stp分别是标准压力(1.01325e5Pa)和标准温度(273.15K)。