[发明专利]光学镜片用气相沉积装置无效

专利信息
申请号: 201080033202.6 申请日: 2010-07-27
公开(公告)号: CN102471870A 公开(公告)日: 2012-05-23
发明(设计)人: 足立诚;川俣和生;五十岚尚 申请(专利权)人: HOYA株式会社
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;梁韬
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 光学镜片 用气相 沉积 装置
【权利要求书】:

1.一种光学镜片用气相沉积装置,包括:

真空室,容纳气相沉积物质和光学镜片;

旋转体,设置在所述真空室中的上侧并由驱动装置旋转;

镜片保持体,包括多个形成为比光学镜片略大的镜片孔并可拆卸地安装在所述旋转体上;

保持元件,用于在所述镜片保持体的各个镜片孔内按压光学镜片的外周面;

镜片放置部,设置在限定各个镜片孔的内周面上的与所述保持元件相对的部分、并且在相反地按压光学镜片下承接由所述保持元件按压的光学镜片的外周面;以及

加热元件,设置在所述真空室中的下侧,加热并蒸发气相沉积物质。

2.根据权利要求1所述的光学镜片用气相沉积装置,还包括沿各个镜片孔形成在所述镜片保持体的表面上的凹部,

其中,所述保持元件设置在所述凹部中,并由一体地包括固定近端部、弹性变形部和按压光学镜片的外周面的按压部的板簧构成,并且

锯齿状突起形成在所述按压部的远端。

3.根据权利要求1所述的光学镜片用气相沉积装置,其中,

所述镜片保持体包括与所述保持元件相对并且沿各个镜片孔形成的凹部,并且

所述凹部的两个开口边缘分别形成所述镜片放置部,并与所述保持元件配合保持所述光学镜片的外周面上的三个部分。

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