[发明专利]氮气注入设备有效

专利信息
申请号: 201080035368.1 申请日: 2010-08-03
公开(公告)号: CN102576654A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 李承龙 申请(专利权)人: 李承龙
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;吴孟秋
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 氮气 注入 设备
【权利要求书】:

1.一种氮气注入装置,包含:

一对凸缘管,每一凸缘管具有一凸缘,用以连接一使副产品气体可经由其运送的管;

一以一环形沿着所述凸缘管的壁耦接于所述一对凸缘管之间的注入喷嘴,用以供应氮气至所述凸缘管内;以及

一连接至所述注入喷嘴以供应氮气的氮气供应线,

其中,所述注入喷嘴具有一沿着圆周方向限定的孔,使氮气能够移动,所述注入喷嘴包括多个与所述孔连通的注入孔,用以使供应的氮气可被注入至所述凸缘管内,以及所述注入孔形成于自所述凸缘管的一内表面突出的位置,以将氮气注入与反应副产品的流动方向相同的方向。

2.根据权利要求1所述的氮气注入装置,其中,所述注入喷嘴包括一沿着圆周方向形成于其一外侧上并耦接至所述凸缘管的壁的耦接部分;以及一沿着圆周方向形成于所述耦接部分的一内侧以便自所述凸缘管的一内周围表面突出的突起,所述注入孔形成于所述突起内与一副产品气体流出方向相同的方向。

3.根据权利要求1所述的氮气注入装置,其中,所述注入喷嘴被设定为通过一第一分割部分与一第二分割部分耦接,而所述注入喷嘴沿着圆周方向分割,所述第一与第二分割部分分别位于副产品气体流入与流出方向,所述第一分割部分具有一沿着圆周方向限定所述孔的一部分或全部的第一流动孔,以及所述注入孔形成于所述第二分割部分内,用以对应地与所述第一流动孔连通。

4.根据权利要求2所述的氮气注入装置,其中,所述突起的未形成有所述注入孔的相对内周围表面具有一逐渐增加的内直径,用以降低对所述副产品气体的阻力,藉此减少所述突起的所述内周围表面和所述凸缘管的内周围表面之间的厚度的差异。

5.根据权利要求1所述的氮气注入装置,还包含一安装于所述氮气供应线的中央的加热器,用以加热供应至所述注入喷嘴的氮气。

6.根据权利要求1所述的氮气注入装置,还包含一安装于所述氮气供应线的中央的孔口管,用以控制氮气的供应量。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于李承龙,未经李承龙许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201080035368.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top