[发明专利]用于引线接合的超声波换能器与使用超声波换能器形成引线接合的方法

权利要求书

1.一种使用耦合至引线接合机的换能器的接合工具来形成引线接合的方法，所述换能器包括驱动器，所述方法包括以下步骤：

(1)施加第一频率的电能给所述驱动器；及

(2)在施加所述第一频率的所述电能的同时施加第二频率的电能给所述驱动器，所述第一频率与所述第二频率彼此不同。

2.如权利要求1所述的方法，其中步骤(1)包括施加大约115kHz的第一频率的电能给所述驱动器。

3.如权利要求1所述的方法，其中步骤(2)包括施加大约120kHz的第二频率的电能给所述驱动器。

4.如权利要求1所述的方法，其中步骤(1)包括施加所述大约115kHz的第一频率的电能给所述驱动器，且步骤(2)包括施加所述大约120kHz的第二频率的电能给所述驱动器。

5.如权利要求1所述的方法，进一步包括使所述驱动器包括多个压电元件，各所述多个压电元件被分成至少两个彼此电气隔离的区域的步骤。

6.如权利要求5所述的方法，其中步骤(1)包括施加所述第一频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第一区域，且步骤(2)包括施加所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第二区域。

7.如权利要求5所述的方法，其中步骤(1)包括施加所述第一频率及所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第一区域，且步骤(2)包括施加所述第一频率及所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第二区域。

8.如权利要求7所述的方法，其中施加给所述第一区域及所述第二区域的所述第一频率的电能彼此同相，且施加给所述第一区域及所述第二区域的所述第二频率的电能彼此异相。

9.如权利要求1所述的方法，其中施加所述第一频率及所述第二频率的电能给所述驱动器导致由所述接合工具的尖端产生非线性刷磨。

10.如权利要求1所述的方法，其中所述驱动器包括至少一个经配置以在电能施加之时在第一方向上变形的压电元件，及至少一个经配置以在电能施加之时在第二方向上变形的压电元件，所述第一方向与第二方向彼此不同。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述第一方向沿着所述引线接合机的X轴且所述第二方向沿着所述引线接合机的Y轴。

12.如权利要求10所述的方法，其中所述第一方向沿着所述引线接合机的X轴且所述第二方向为XY剪切方向。

13.如权利要求10所述的方法，其中所述第一方向沿着所述引线接合机的Y轴且所述第二方向为XY剪切方向。

14.如权利要求10所述的方法，其中所述至少一个压电元件经配置以当施加所述第一频率的电能时在所述第一方向上变形，且所述至少一个压电元件经配置以当施加所述第二频率的电能时在第二方向上变形。

15.如权利要求10所述的方法，其中所述至少一个经配置以在所述第一方向上变形的压电元件的变形导致接合工具尖端沿所述引线接合机的X轴的刷磨，且所述至少一个经配置以在所述第二方向上变形的压电元件的变形导致接合工具尖端沿所述引线接合机的Y轴的刷磨。

16.一种使用耦合至引线接合机的换能器的接合工具来形成引线接合的方法，所述换能器包括驱动器，所述方法包括以下步骤：

(1)施加第一频率的电能给所述驱动器以在第一方向上驱动所述接合工具的尖端；及

(2)施加第二频率的电能给所述驱动器以在第二方向上驱动所述接合工具的尖端，所述第一方向不同于所述第二方向。

17.如权利要求16所述的方法，其中对所述驱动器施加第一频率的电能与对所述驱动器施加所述第二频率的电能是同时发生。

18.如权利要求16所述的方法，其中对所述驱动器的施加所述第一频率的电能与对所述驱动器施加所述第二频率的电能不是同时发生。

19.如权利要求16所述的方法，其中步骤(1)包括施加所述大约115kHz的第一频率的电能给所述驱动器。