[发明专利]太阳能电池、太阳能电池模块和太阳能电池系统

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，具备：

具备具有纹理结构的面的衬底；和

在该具有纹理结构的面上形成的透明导电膜，

所述透明导电膜包含含有氢和铈的氧化铟。

2.如权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：

所述透明导电膜的通过X射线衍射法测定的(400)面的X射线衍射峰的2θ(θ：X射线衍射角)在35.31°～35.40°的范围，且该X射线衍射峰的半峰宽在0.10°～0.30°的范围。

3.如权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：

所述衬底由单晶硅衬底构成，所述纹理结构是通过对所述衬底进行各向异性蚀刻而形成的多个金字塔形状的凹凸结构。

4.如权利要求3所述的太阳能电池，其特征在于：

在所述包括单晶硅的衬底与所述透明导电膜之间，具备p型非晶硅层。

5.如权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：

所述铈的含量为1.0×10²⁰atoms/cm³以上1.0×10²¹atoms/cm³以下。

6.如权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：

所述氢的含量为10²¹atoms/cm³的数量级。

7.一种太阳能电池模块，其特征在于：

具备权利要求1至6中的任一项所述的太阳能电池。

8.一种太阳能电池系统，其特征在于：

包含权利要求7所述的太阳能电池模块。