[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵（100），对被排气装置的气体进行排气，其特征在于，具备：

多个温度传感器（151、153、155），被配置在该真空泵（100）的不同部位；以及

冷却单元（149）和/或加热单元（147），其数量比该温度传感器（151、153、155）的数量少；以及

温度控制单元（161），基于所述多个温度传感器所输出的多个温度信号，控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述温度控制单元（161）将所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的温度信号作为控制对象的温度信号，基于该控制对象的温度信号，控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述温度控制单元（161）按照预先设定的所述多个温度信号的优先级，从所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的多个温度信号中，选择温度信号作为所述控制对象的温度信号，基于所述控制对象的温度信号，控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。

4.根据权利要求1至3的任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述温度控制单元（161）分别基于所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的多个温度信号，导出多个控制指令，基于该多个控制指令的合成结果，控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。