[发明专利]曝光设备、曝光方法及器件制造方法

权利要求书

1.一种曝光设备，其经由被第一支撑部件支撑的光学系统利用能量光束对物体曝光，所述设备包括：

移动体，其能够沿着包括彼此正交的第一轴和第二轴的二维平面移动，同时保持所述物体；

引导面形成部件，其具有在所述二维平面内以至少一条分界线作为边界而并排设置的第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分形成在所述移动体移动时使用的引导面；

第二支撑部件，其经由所述引导面形成部件以远离所述引导面形成部件的方式设置在与所述光学系统相对的侧上，并且所述第二支撑部件与所述第一支撑部件之间的位置关系维持为预定的关系；以及

测量系统，其包括利用测量光束照射平行于所述二维平面的测量面并接收来自所述测量面的光的测量部件，并且所述测量系统基于所述测量部件的输出至少获得所述移动体在所述二维平面内的位置信息，所述测量面被布置于所述移动体和所述第二支撑部件之一处，并且所述测量部件的至少一部分被布置于所述移动体和所述第二支撑部件中的另一个处。

2.根据权利要求1所述的曝光设备，其中所述分界线平行于所述第一轴和所述第二轴中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的曝光设备，其中以平行于所述第一轴和所述第二轴之一的方向作为长度方向的方式设置所述第二支撑部件。

4.根据权利要求1所述的曝光设备，其中以所述分界线作为边界而将所述引导面形成部件分隔为所述第一部分和所述第二部分。

5.根据权利要求4所述的曝光设备，其中所述分界线平行于所述第二支撑部件的长度方向。

6.根据权利要求1所述的曝光设备，其中所述第一部分和所述第二部分中的至少一个能够在平行于与所述二维平面正交的第三轴的方向相对于所述第二支撑部件相对移动。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的曝光设备，其中所述第一部分和所述第二部分分别由第一平台和第二平台构成，经由对应于所述分界线的预定间隙设置所述第一平台和所述第二平台。

8.根据权利要求4～7中任一项所述的曝光设备，还包括：

底座部件，其以使得所述第一部分和所述第二部分能够在平行于所述二维平面的平面内移动的方式支撑所述第一部分和所述第二部分。

9.根据权利要求8所述的曝光设备，还包括：

平台驱动系统，其相对于所述底座部件单独地驱动所述第一部分和所述第二部分。

10.根据权利要求8和9之一所述的曝光设备，其中所述第二支撑部件与所述第一部分、所述第二部分及所述底座部件全都处于非接触状态。

11.根据权利要求8～10中任一项所述的曝光设备，其中所述底座部件由单独支撑所述第一部分和所述第二部分的两个部分组成。

12.根据权利要求11所述的曝光设备，其中所述底座部件的两个部分中的至少一个能够在与所述二维平面正交的方向上移动。

13.根据权利要求12所述的曝光设备，其中所述底座部件的两个部分之一能够在沿所述二维平面的方向上相对于该两个部分的另一部分相对地移动。

14.根据权利要求1～11中任一项所述的曝光设备，其中所述第二支撑部件与所述光学系统具有保持恒定的位置关系。

15.根据权利要求14所述的曝光设备，其中所述第二支撑部件被一体地固定至所述第一支撑部件。

16.根据权利要求15所述的曝光设备，其中所述第二支撑部件在所述长度方向的两端均以悬挂状态固定至所述第一支撑部件。

17.根据权利要求1～11中任一项所述的曝光设备，其中

与所述第一支撑部件机械分离地设置所述第二支撑部件；

所述曝光设备还包括：

调整装置，其以保持所述第二支撑部件相对于所述第一支撑部件的相对位置的方式调整所述第二支撑部件的位置。