[发明专利]扩散剂组合物、杂质扩散层的形成方法、以及太阳能电池

权利要求书

1.一种扩散剂组合物，是向半导体基板的杂质扩散成分的印刷中所用的扩散剂组合物，其特征在于，

含有：

杂质扩散成分(A)、

在低于所述杂质扩散成分(A)开始热扩散的温度的温度下热分解而消失的粘合剂树脂(B)、

SiO₂微粒(C)、和

包含沸点为100℃以上的有机溶剂(D1)的有机溶剂(D)。

2.根据权利要求1所述的扩散剂组合物，其特征在于，

所述粘合剂树脂(B)的热分解温度低于比所述杂质扩散成分(A)开始热扩散的温度低200℃的温度。

3.根据权利要求1或2所述的扩散剂组合物，其特征在于，

所述粘合剂树脂(B)的热分解温度低于400℃。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的扩散剂组合物，其特征在于，

所述粘合剂树脂(B)是非硅系树脂。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的扩散剂组合物，其特征在于，

所述粘合剂树脂(B)含有丙烯酸系树脂。

6.根据权利要求5所述的扩散剂组合物，其特征在于，

所述丙烯酸系树脂具有缩丁醛基。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的扩散剂组合物，其特征在于，

所述有机溶剂(D)以相对于有机溶剂(D)的总质量达到10质量％以上的方式含有所述有机溶剂(D1)。

8.一种杂质扩散层的形成方法，其特征在于，

包括：

在半导体基板上印刷权利要求1至7中任一项所述的扩散剂组合物而形成涂膜的涂膜形成工序、

使所述扩散剂组合物的杂质扩散成分(A)向所述半导体基板扩散的扩散工序。

9.根据权利要求8所述的杂质扩散层的形成方法，其特征在于，

在所述涂膜形成工序中，利用辊涂印刷法或者丝网印刷法，在半导体基板上印刷扩散剂组合物。

10.一种太阳能电池，其特征在于，

具备利用权利要求8或9中所述的杂质扩散层的形成方法形成了杂质扩散层的半导体基板。