[发明专利]在像场中成像物场的成像光学系统和照明物场的照明光学系统

权利要求书

1.一种具有多个反射镜(M1到M6；M1到M8)的成像光学系统(12；32；38；44；69；70)，所述多个反射镜(M1到M6；M1到M8)将物平面(11)中的物场(9)成像到像平面(14)中的像场(13)中，

-其中至少一个所述反射镜(M1到M6；M1到M8)的反射面被构造为不能通过旋转对称函数描述的自由形状面，

-其中所述物场(9)的纵横比(x/y)大于1，并且纵向维度(x)沿着长边延伸，横向维度(y)沿着窄边延伸，

其特征在于：所述物场(9)的最小横向尺寸YS_min与最大横向尺寸YS_max的比小于0.9。

2.一种具有多个反射镜(M1到M6)的成像光学系统(69)，所述多个反射镜(M1到M6)将物平面(11)中的物场(9)成像到像平面(14)中的像场(13)中，

-其中所述物场(9)和/或所述像场(13)偏离镜面对称场形状。

3.根据权利要求2所述的成像光学系统，其特征在于至少一个所述反射镜(M1到M6)的反射面被构造为不能通过旋转对称函数描述的自由形状面。

4.根据权利要求2或3所述的成像光学系统，其特征在于所述物场(9)具有纵横比，

-其中所述物场(9)的纵横比大于1，并且纵向维度(x)沿着长边延伸，横向维度(y)沿着窄边延伸，

-其中所述反射镜(M1到M6)的反射面能够通过面函数描述，所述面函数在所述物场(9)的纵向维度(x)上具有奇数幂的项。

5.一种用于照明物平面(11)中的照明场(9)的照明光学系统(10)，

-引导照明光(3)的所述照明光学系统(10)的组件被构造为使得所述照明场(9)的纵横比大于1，并且纵向维度(x)沿着长边延伸，横向维度(y)沿着窄边延伸，

其特征在于：所述物场(9)的最小横向尺寸YS_min与最大横向尺寸YS_max的比小于0.9。

6.根据权利要求5所述的照明光学系统，其特征在于：引导所述照明光(3)的所述照明光学系统(10)的至少一个所述组件的反射面被构造为不能通过旋转对称函数描述的自由形状面。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的光学系统，其特征在于所述物场或照明场(9)通过以下限制：

-曲线(41；46；63)，

-与所述曲线(41；46；63)相对的纵向线(40；45；64)，

-两个边界线(29，30)，所述两个边界线(29，30)各自连接所述曲线(41；46；63)和所述纵向线(40；45；64)的两端。

8.根据权利要求7所述的光学系统，其特征在于所述曲线(41；46；63；27；43；45)具有部分圆形状。

9.根据权利要求8所述的光学系统，其特征在于所述曲线(27，28；45，46，53，54)具有最多300mm的半径。

10.根据权利要求7至9中的任一项所述的光学系统，其特征在于与所述曲线(41；43)相对的所述纵向线(40；42)直线延伸。

11.根据权利要求7至9中的任一项所述的光学系统，其特征在于与所述曲线(27；45；53；63)相对的所述纵向线(28；46；54；64)以弯曲方式延伸。

12.根据权利要求11所述的光学系统，其特征在于以弯曲方式延伸的纵向线(28；45；53；63)以拱形方式延伸。

13.根据权利要求12所述的光学系统，其特征在于与所述曲线(46；27)相对的长线(45；28)以部分圆形状延伸。

14.根据权利要求13所述的光学系统，其特征在于与所述曲线(46；27)相对的所述纵向线(45；28)具有最多300mm的半径。

15.根据权利要求1至6中的任一项所述的光学系统，其特征在于所述物场或照明场(9)具有楔形。