[发明专利]曝光方法及曝光装置、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种使物体曝光的曝光方法，该曝光方法包含：

在设于沿预定平面移动的移动体的复数个读头中、包含至少一个互异读头的复数个读头所属的复数个读头群与该移动体外部配置成与该预定平面大致平行的测量面面对的该移动体的第1移动区域内，求出对应各个该复数个读头群的复数个不同基准坐标系间的偏差的修正信息的动作；以及

在该第1移动区域内，使用属于该复数个读头群的复数个读头求出该移动体的位置信息，使用该位置信息与和该复数个读头群的读头群对应的复数个不同基准坐标系间的偏差的该修正信息驱动该移动体，以使保持于该移动体的物体曝光的动作。

2.如权利要求1所述的曝光方法，其中：

求出该基准坐标系间的偏差的修正信息的动作包含，在该复数个读头群中的第1、第2读头群分别面对该测量面上对应区域的该移动体的该第1移动区域内区域，求出该移动体的第1位置信息，根据该第1位置信息驱动该移动体，并使用该第2读头群求出该移动体的第2位置信息，求出与该第1及第2读头群对应的第1及第2基准坐标系间的偏差的修正信息的动作：

在使该物体曝光的动作中，使用该第1及第2基准坐标系间的偏差的修正信息来修正该移动体的位置信息，其中在该第1移动区域内使用与该第2读头群对应的复数个读头所测量的该移动体的位置信息。

3.如权利要求2所述的曝光方法，其中，在求出第1及第2基准坐标系间的偏差的修正信息的动作中，形成第1修信息，此第1修正信息用以使使用该第2读头群求出的该移动体的第2位置信息与使用该第1读头群求出的该移动体的第1位置信息一致。

4.如权利要求3所述的曝光方法，其中，在使该物体曝光的动作中，将该第1修正信息适用于该第2位置信息，以修正属于该第1及第2读头群的各读头面对的该测量面上区域的偏差引起的该第1及第2位置信息的偏差。

5.如权利要求3或4所述的曝光方法，其中，求出该基准坐标系间的偏差的修正信息的动作，进一步包含：该第2读头群以及至少包含一个与该第2读头群不同的读头的复数个读头所属的第3读头群，在与该测量面上的对应区域分别面对的该移动体移动区域内的区域，使用该第2读头群测量该移动体的第2位置信息，根据该第2位置信息与该第1修正信息驱动该移动体，并使用该第3读头群测量该移动体的第3位置信息，使用该第2及第3位置信息与该第1修正信息求出与该第2及第3读头群的各读头属于的第2及第3基准坐标系间的偏差的修正信息的动作；

在使该物体曝光的动作中，使用该第2及第3基准坐标系间的偏差的修正信息来修正该移动体的位置信息，其中在该第1移动区域内，使用属于该第3读头群的复数个读头测量该移动体的位置信息。

6.如权利要求5所述的曝光方法，其中，求出该基准坐标系间的偏差的修正信息的动作，进一步包含形成用以使该第3位置信息与适用了该第1修正信息的该第2位置信息一致的第2修正信息的动作。

7.如权利要求6所述的曝光方法，其中，在使该物体曝光的动作中，将该第2修正信息适用于该第3读头群的测量结果，以修正该第2及第3读头群的不同读头的每一个面对的该测量面上区域的偏差引起的该第2位置信息及该第3位置信息间的偏差。

8.如权利要求2至7中任一项所述的曝光方法，其中，该修正信息，包含对该复数个读头中对应读头群的复数个基准坐标系的各基准坐标系以该第1基准坐标为基准进行的并进、旋转及定标的至少一者。

9.如权利要求1至8中任一项所述的曝光方法，其中，在求出该基准坐标系间的偏差的修正信息的动作中，在与该复数个基准坐标系的各个对应的复数个读头群所含的所有读头与该测量面上对应区域面对的该移动体的移动区域内驱动该移动体，以求出该复数个基准坐标系彼此间的偏差的修正信息。

10.如权利要求1至9中任一项所述的曝光方法，其进一步包含：该复数个读头与和该预定平面大致平行设置的该测量面不同的另一测量面面对的该移动体的第2移动区域内，求出与该复数个读头对应的复数个基准坐标系间的偏差的修正信息的动作；以及

在该第2移动区域内，使用该复数个读头求出该移动体的位置信息，使用该位置信息以及与该复数个读头群对应的复数个不同基准坐标系间的偏差的该修正信息驱动该移动体，以检测保持于该移动体的物体上的标记的动作；

在使该物体曝光的动作中，使用该标记的检测结果驱动该移动体。