[发明专利]分光模块无效
申请号: | 201080037678.7 | 申请日: | 2010-08-31 |
公开(公告)号: | CN102483351A | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;能野隆文 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/18 | 分类号: | G01J3/18 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光 模块 | ||
1.一种分光模块,其特征在于,
具备:
主体部,使从一侧入射的光透过;
分光部,设置于在所述主体部的另一侧形成的凸状曲面上,将入射至所述主体部的光分光,且反射至所述主体部的一侧;及
光检测元件,配置于所述主体部的一侧,检测由所述分光部分光的光,
所述分光部具有以沿着所述曲面的方式形成的衍射层,以比所述衍射层厚的方式、沿着所述衍射层的周缘一体形成的凸缘部,及形成于所述衍射层的另一侧的反射层,
所述曲面中至少与所述凸缘部接触的部分为使光散射的粗糙面,
所述凸缘部中与所述曲面相对的面为平坦面。
2.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
所述曲面中与所述衍射层接触且与所述衍射层的衍射光栅图案相对的部分,与所述曲面中与所述凸缘部接触的部分相比,为平滑的面。
3.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
所述凸缘部中与所述曲面相对的面为使光散射的粗糙面。
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