[发明专利]导电性糊剂、半导体装置用电极、半导体装置和半导体装置的制造方法无效
申请号: | 201080038103.7 | 申请日: | 2010-07-26 |
公开(公告)号: | CN102483968A | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 田中聪;山本真也 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01B1/22 | 分类号: | H01B1/22;H01B1/00;H01B5/14;H01L31/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电性 半导体 装置 用电 制造 方法 | ||
1.一种导电性糊剂(7),是含有由多个导电性粒子(21)形成的导电性粉末的导电性糊剂(7),
所述导电性粒子(21)具有基材(21a)和将所述基材(21a)的外表面的至少一部分覆盖的导电层(21b)。
2.如权利要求1所述的导电性糊剂(7),其中,进一步含有由多个银粒子(22)形成的银粉末。
3.一种半导体装置用电极(71、72、81、82),是含有多个导电性粒子(21)的半导体装置用电极(71、72、81、82),
所述导电性粒子(21)具有基材(21a)和将所述基材(21a)的外表面的至少一部分覆盖的导电层(21b)。
4.一种半导体装置(10、35),是含有半导体基板(1)、和在所述半导体基板(1)的表面上设置的半导体装置用电极(71、72、81、82)的半导体装置(10、35),
所述半导体装置用电极(71、72、81、82)含有多个导电性粒子(21),
所述导电性粒子(21)具有基材(21a)和覆盖所述基材(21a)的外表面的至少一部分的导电层(21b)。
5.一种半导体装置(10、35)的制造方法,包括:在半导体基板(1)上涂布含有由多个导电性粒子(21)形成的导电性粉末的导电性糊剂(7)的工序,和烧制所述导电性糊剂(7)的工序。
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