[发明专利]用于薄膜激光刻划的且具有提高的产量的方法和相关系统

权利要求书

1.一种用于制造太阳能电池组件的方法，所述方法包括：

提供工件，所述工件包括基板和第一层；

将多个第一互联线刻划到所述第一层中；

在将第二层沉积到所述第一层上和沉积到所述第一互联线中之后，将多个第二互联线刻划到所述第二层中，其中每一个所述第二互联线都与所述第一互联线中的一个相邻，且其中每一个第二互联线都是连续的；

在将第三层沉积到所述第二层上和沉积到所述第二互联线中之后，将多个第三互联线刻划到所述第二层和刻划到所述第三层中，其中每一个所述第三互联线都与所述第二互联线中的一个相邻；以及

将多个隔离线刻划到所述第一层、所述第二层以及所述第三层中。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述基板包括玻璃。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述第一层包括透明导电氧化物(TCO)。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述第二层包括硅。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述第三层包括金属。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述刻划隔离线包括将一系列激光脉冲向上引导穿过所述基板，其中所述系列包括具有100至200μJ之能量的激光脉冲。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述刻划隔离线包括将一系列激光脉冲向上引导穿过所述基板，其中所述系列包括具有5至75纳秒的脉冲宽度的激光脉冲。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述隔离线的刻划发生在所述第三互联线的刻划之后。

9.一种用于制造太阳能电池组件的系统，所述系统包括：

支撑机构，用于接收工件，所述工件包括基板和第一层；

至少一个激光器装置，所述激光器装置的每一个都配置成将激光束引导至工件；以及

激光器控制器，所述激光器控制器可操作以使所述至少一个激光器装置进行以下步骤：

将多个第一互联线刻划到所述第一层中，

在将第二层沉积到所述第一层上和沉积到所述第一互联线中之后，将多个第二互联线刻划到所述第二层中，其中所述第二互联线中的每一个都与所述第一互联线中的一个相邻，并且其中每一个第二互联线都是连续的，

在将第三层沉积到所述第二层上和沉积到所述第二互联线中之后，将多个第三互联线刻划到所述第二层和所述第三层中，其中所述第三互联线中的每一个都与所述第二互联线中的一个相邻，以及

将多个隔离线刻划到所述第一层、所述第二层和所述第三层中。

10.如权利要求9所述的系统，其中至少一个激光器装置产生具有100至200μJ之能量的激光脉冲以刻划所述隔离线。

11.如权利要求9所述的系统，其中至少一个激光器装置产生具有5至75纳秒的脉冲宽度的激光脉冲以刻划所述隔离线。

12.如权利要求9所述的系统，其中所述隔离线的刻划发生在所述第三互联线的刻划之后。

13.一种用于制造太阳能电池组件的系统，所述系统包括：

平移平台，所述平移平台可操作以支撑工件，并在纵向方向上平移被支撑的工件；

编码器，所述编码器与所述平移平台可操作地耦接以测量所述平移平台的位置；

激光器，所述激光器可操作以产生能够从所述工件的至少一部分移除材料的输出；

激光器开关，所述激光器开关与所述激光器耦接以通过触发激光器输出来控制激光器输出的时序；以及

控制器，所述控制器与所述平移平台、所述编码器和所述激光器开关可操作地耦接，

其中所述控制器可操作以响应于所述平移平台的用编码器测量出的位置来触发所述激光器开关，从而中断激光刻划线的形成以跳过先前形成的激光刻划线。

14.如权利要求13所述的系统，其中所述控制器包括处理器和计算机可读介质，所述计算机可读介质包括指令，当所述指令被执行时使所述处理器完成所述激光器开关的所述触发。

15.一种用于制造太阳能电池组件的系统，所述系统包括：

用于接收工件的支撑机构；

激光器，所述激光器可操作以产生能够从所述工件的至少一部分移除材料的输出；

激光器开关，所述激光器开关与所述激光器耦接以通过触发激光器输出来控制所述激光器输出的时序；

扫描装置，所述扫描装置可操作以控制来自所述激光器的输出的位置；

编码器，所述编码器与所述扫描装置可操作地耦接以测量所述扫描装置的位置；以及

控制器，所述控制器与所述扫描装置、所述编码器以及所述激光器开关可操作地耦接，

其中，所述控制器可操作以响应于所述扫描装置的用编码器测量出的位置来触发所述激光器开关，从而中断激光刻划线的形成以跳过先前形成的激光刻划线。