[发明专利]用于测量厚度变化的设备、使用该设备的系统、使用该设备的形貌显微镜、测量厚度变化的方法、以及使用该测量方法获取形貌图像的方法

权利要求书

1.一种用于测量厚度变化的设备，所述设备包括：

光源，所述光源用于照射光束到目标物体上；

弯曲反射器，所述弯曲反射器用于反射从所述目标物体反射并入射到所述弯曲反射器上的光束；以及

感测单元，所述感测单元用于感测从所述弯曲反射器反射的光束。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述光源将光束以45°的角度照射到所述目标物体上。

3.根据权利要求1所述的设备，还包括透镜单元，所述透镜单元用于使从所述光源发射的光束在到达所述目标物体之前穿过所述透镜单元，

其中，所述透镜单元使从所述光源发射的光束在穿过所述透镜单元之后直至入射到所述弯曲反射器上时逐渐减小光束宽度。

4.根据权利要求1所述的设备，还包括透镜单元，所述透镜单元用于使从所述光源发射的光束在到达所述目标物体之前穿过所述透镜单元，

其中，所述透镜单元使从所述光源发射的光束在穿过所述透镜单元之后改变光束宽度，使得光束在从所述弯曲反射器反射之后直至入射到所述感测单元上时具有统一的光束宽度。

5.根据权利要求1所述的设备，还包括透镜单元，所述透镜单元用于使从所述光源发射的光束在到达所述目标物体之前穿过所述透镜单元，

其中，所述透镜单元使从所述光源发射的光束在穿过所述透镜单元之后改变光束宽度，使得从所述目标物体反射的光束会聚到光束在所述弯曲反射器上的入射位置处的曲率半径的中心上。

6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述光源是激光光源。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述光源包括：

发光装置；和

销孔，所述销孔用于使从所述发光装置发射的光的一部分穿过所述销孔。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述弯曲反射器是球面反射表面的至少一部分。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述设备根据当在所述目标物体的厚度变化之前从所述目标物体反射的光束从所述弯曲反射器反射并入射到所述感测单元上时由所述感测单元感测的第一位置与当在所述目标物体的厚度变化之后从所述目标物体反射的光束从所述弯曲反射器反射并入射到所述感测单元上时由所述感测单元感测的第二位置之差来测量所述目标物体的厚度变化。

10.根据权利要求1所述的设备，其中，所述设备根据在从所述目标物体的一个位置反射的光束从所述弯曲反射器反射并入射到所述感测单元上时由所述感测单元感测的第一位置与在从所述目标物体的另一个位置反射的光束从所述弯曲反射器反射并入射到所述感测单元上时由所述感测单元感测的第二位置之差来测量所述目标物体的厚度变化。

11.根据权利要求1所述的设备，还包括放大器管，所述放大器管用于使从所述弯曲反射器反射的光束在入射到所述感测单元上之前穿过所述放大器管，并且所述放大器管具有至少两个相面对的反射表面。

12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述放大器管的所述至少两个相面对的反射表面彼此平行。

13.根据权利要求11所述的设备，其中，所述感测单元设置在所述放大器管的所述至少两个相面对的反射表面中的任何一个的端部。

14.根据权利要求11所述的设备，其中，所述感测单元包括：

第一感测单元，所述第一感测单元设置在所述放大器管的所述至少两个相面对的反射表面中的任何一个的端部；和

第二感测单元，所述第二感测单元设置在所述放大器管的所述至少两个相面对的反射表面中的另一个的端部。

15.根据权利要求11所述的设备，还包括以下调节单元中的至少一个：

入射角调节单元，所述入射角调节单元用于调节从所述弯曲反射器反射的光束到所述放大器管中的入射角；和

出射角调节单元，所述出射角调节单元用于调节穿过所述放大器管的光束到所述感测单元上的入射角。

16.根据权利要求1所述的设备，还包括光源致动器，所述光源致动器用于调节从所述光源照射到所述目标物体上的光束的入射角。