[发明专利]晶片透镜的制造方法

权利要求书

1.一种晶片透镜的制造方法，备有：分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，

在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置之间的距离之工序，

在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述测定工序测定到的距离，修正转印工序中模具对玻璃基板的模压位置。

2.如权利要求1中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，根据在所述测定工序测定到的距离，进一步修正所述树脂向所述模具的滴下量。

3.如权利要求1或2中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述距离测定是分别检出并算出所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置和所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置。

4.一种晶片透镜的制造方法，备有：分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，

在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，算出该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之工序，

在第2循环和该第2循环以后的分配工序中，根据在所述算出工序算出的距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。

5.如权利要求3中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述算出工序中的距离测定，是使所述模具与所述玻璃基板上模压树脂之面的反面持所定间隔平行地、边扫描所述模具的平坦面边进行的。

6.一种晶片透镜的制造方法，备有：分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，

在各循环的前一循环的脱模工序之后，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置之间的距离之工序，

在各循环的转印工序中，根据在该测定工序测定到的距离，修正所述模具的模压位置。

7.如权利要求6中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，根据在所述测定工序测定到的距离，进一步修正所述树脂向所述模具的滴下量。

8.如权利要求6或7中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述距离测定是分别检出并算出所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置和所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置。