[发明专利]传感装置

权利要求书

1.一种传感装置(10、10’)，包括：

基板(14)；

形成在所述基板(14)上的第一电极(E_IC、E_ICS)，所述第一电极(E_IC、E_ICS)具有三维形状；以及

形成在所述基板上的第二电极(E_O)，使得所述第二电极(E_O)与所述第一电极(E_IC、E_ICS)电隔离并且围绕所述第一电极(E_IC、E_ICS)的周界。

2.根据权利要求1所述的传感装置(10、10’)，其中所述三维形状选自圆锥状、圆锥球状、圆柱状和具有朝向尖端成角度的至少三个面的多边形状。

3.根据权利要求1和2中任一项所述的传感装置(10、10’)，其中所述第一电极(E_IC、E_ICS)是形成在多层结构上的金属层(26)，所述多层结构包括至少半导电的基底(24、28)和形成在所述至少半导电的基底(24、28)上的绝缘层(16、16’)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的传感装置(10、10’)，其中所述第二电极(E_O)是包括至少半导电的基底(14)和形成在所述至少半导电的基底(14)的至少一部分上的金属层(26’)的多层结构。

5.根据权利要求3和4所述的传感装置(10、10’)，其中所述基板(14)是半导体或导体，并且其中所述至少半导电的基底(14、24、28)与所述基板(14)整体形成。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的传感装置(10、10’)，其中：所述第一电极(E_IC)具有圆锥状，并且其中所述传感装置(10)被配置用于光学传感；或者其中所述第一电极(E_ICS)具有圆锥球状，并且其中所述传感装置(10’)被配置用于电传感。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的传感装置(10、10’)，其中所述装置(10、10’)被配置为使得能够将偏压施加至所述基板(14)的单个部分。

8.一种传感装置(10、10’)，包括：

基板(14)，

形成在所述基板(14)上的第一电极(E_IC、E_ICS)的阵列，所述第一电极(E_IC、E_ICS)中的每一个具有三维几何形状；以及

形成在所述基板(14)上的第二电极(E_O)，使得所述第二电极(E_O)与所述第一电极(E_IC、E_ICS)中的每一个电隔离并且围绕所述第一电极(E_IC、E_ICS)中的每一个的周界。

9.根据权利要求8所述的传感装置(10、10’)，其中所述三维形状选自圆锥状、圆锥球状、圆柱状和具有朝向尖端成角度的至少四个面的多边形状。

10.根据权利要求8和9中任一项所述的传感装置(10、10’)，其中所述第一电极(E_IC、E_ICS)中的每一个是形成在多层结构上的金属层(26)，所述多层结构包括第一电极半导体基底(24、28)和形成在所述第一电极半导体基底(24、28)上的绝缘层(16、16’)；其中所述第二电极(E_O)是包括第二电极半导体基底(14)和形成在所述第二电极半导体基底(14)的至少一部分上的金属层(26’)的多层结构；其中所述基板(14)是半导体；并且其中所述第一电极半导体基底(24、28)和所述第二电极半导体基底(14)与所述基板(14)整体形成。