[发明专利]流体控制器

权利要求书

1.一种流体控制器，其特征在于，具有：阀体组件，是包括多个部件的组装体，包括多个阀芯以及保持阀芯的阀体；执行器组件，是包括多个部件的组装体，包括多个活塞以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯的多个阀杆，分别预先组装的阀体组件和执行器组件以能够分解的方式结合。

2.如权利要求1所述的流体控制器，其特征在于：阀体组件以及执行器组件的任一个或双方由多个层叠体形成。

3.如权利要求2所述的流体控制器，其特征在于：将设有流体通路且支承作为阀芯的隔膜的阀体作为第一层叠体，在该第一层叠体上重叠经由隔膜推压件而固定隔膜的第二层叠体，第一层叠体和第二层叠体以能够分解的方式结合，由此，形成阀体组件。

4.如权利要求2或3所述的流体控制器，其特征在于：形成有供活塞进行上下移动的气缸室的第三层叠体、和保持引导阀杆的导向件的第四层叠体被重叠，第三层叠体和第四层叠体以能够分解的方式结合，由此，形成执行器组件。

5.如权利要求1～4的任一项所述的流体控制器，其特征在于：该流体控制器是二通阀和三通阀一体化而成的三通两头构造，在二通阀侧以及三通阀侧，分别设有用于使活塞向下方移动的流路闭锁用压缩空气导入室以及用于使活塞向上方移动的流路开放用压缩空气导入室的至少一方，并设有压缩空气配管连接部，该压缩空气配管连接部用于向所述流路闭锁用压缩空气导入室以及所述流路开放用压缩空气导入室导入压缩空气。

6.如权利要求1～4的任一项所述的流体控制器，其特征在于：该流体控制器是二通阀和三通阀一体化而成的三通两头构造，在二通阀侧以及三通阀侧，分别设有用于使活塞向下方移动的流路闭锁用压缩空气导入室和用于使活塞向上方移动的流路开放用压缩空气导入室，分别设有用于向各流路闭锁用压缩空气导入室导入压缩空气的压缩空气配管连接部，二通阀侧的压缩空气配管连接部和三通阀侧的流路开放用压缩空气导入室连通，三通阀侧的压缩空气配管连接部和二通阀侧的流路开放用压缩空气导入室连通。