[发明专利]用于气态气相沉积的薄膜暗盒

权利要求书

1.用于在气态气相沉积工艺期间支撑一段薄膜基质的暗盒，所述薄膜基质在气态沉积温度下具有预定的宽度尺寸，所述暗盒包括：中心转轴，其具有穿过它的轴线；

第一端板和第二端板，每个端板均被安装到所述转轴，每个端板均包括从其辐射多个以角度间隔的轮辐的中心毂，

每个端板的轮辐均具有位于基准平面上的内表面，所述基准平面被定向成基本上垂直于所述转轴的轴线，

所述端板的轮辐的内表面是面对设置的并且间隔开预定的轮辐间的间距，

每个端板均具有安装到其所述轮辐的内表面的螺旋脊，

每个螺旋脊均具有预定数目的均匀隔开的圈和与其相关联的预定节距，

在所述螺旋脊的相邻圈之间的空间限定出每个端板上的能够接纳薄膜边缘的螺旋槽，每个螺旋槽均具有第一端部和第二端部，

在一个端板中的螺旋槽面向另一个端板中的螺旋槽，每个相应的凹槽的第一端部和第二端部均被轴向对齐，

每个脊均具有在包含所述转轴的轴线的径向平面中的横截面构型，所述横截面构型表现出大致线性的主要边缘，

每个脊均具有从所述脊在平行于所述转轴的轴线的方向上被安装在其上的轮辐的内表面测量的预定宽度尺寸、相对于所述转轴的轴线在径向上测量的预定平均厚度尺寸和至少2∶1的宽度与平均厚度纵横比，其中

所述轮辐间的间距为至少三百毫米(300mm)并且大于在气态沉积温度下薄膜基质所表现出的宽度尺寸，并且

所述脊在每个端板上的宽度尺寸均介于轮辐间的间距的约0.5％至约2.0％之间。

2.权利要求1的暗盒，其中所述螺旋脊具有预定的节距，

每个螺旋脊的所述节距均小于所述轮辐间的间距的约1.2％。

3.权利要求2的暗盒，其中

每个螺旋脊的所述节距均小于所述轮辐间的间距的约0.5％。

4.权利要求2的暗盒，其中

每个端板上的所述脊的厚度尺寸均小于所述节距的约百分之五十。

5.权利要求1的暗盒，其中每个螺旋脊之上均具有预定厚度的涂层，所述涂层厚度处于约100至约2000埃的范围内，

所述涂层具有小于约五十微米(50微米)的预定表面粗糙度和大于30肖氏硬度D的硬度。

6.权利要求5的暗盒，其中所述涂层是氧化铝，并且其中所述涂层厚度处于约100至约1000埃的范围内。

7.权利要求1的暗盒，其中

设置在一个端板上的以角度相邻的轮辐之间的螺旋安装的脊的相邻圈之间的空间限定出用于气态流体的多个入口开口，并且

在另一个端板上的以角度相邻的轮辐之间延伸的螺旋安装的脊的相邻圈之间的空间限定出用于气态流体的多个出口开口。

8.权利要求6的暗盒，其中

所述一个端板之上具有限定的预定面积，并且其中

所述入口开口的面积为所述一个端板的预定面积的至少百分之五十。

9.权利要求1的暗盒，其中所述转轴是具有在其内提供的轴向延伸的狭槽的中空构件，所述狭槽平行于所述转轴的轴线延伸。

10.权利要求1的暗盒，其中每个端板均由聚合材料制造，所述聚合材料足以经受采用水蒸气和三甲基铝(TMA)的气态气相沉积工艺并具有至少80摄氏度的最低加工温度。

11.权利要求1的暗盒，其中所述端板之间的轮辐间的间距改变不超过一至三毫米(1-3mm)。

12.权利要求1的暗盒，其中每个端板均具有外轮辋，所述轮毂和轮辋通过以角度间隔的轮辐彼此相连。

13.权利要求1的暗盒，其中每个脊的横截面构型均为大致矩形。

14.权利要求13的暗盒，其中每个脊均具有自由端，并且其中每个脊均具有在其所述自由端处的扰流器。

15.权利要求1的暗盒，其中每个脊的横截面构型均为大致楔形。