[发明专利]用于测量由样品引起的力相互作用的方法有效

专利信息
申请号: 201080039165.X 申请日: 2010-08-27
公开(公告)号: CN102483428A 公开(公告)日: 2012-05-30
发明(设计)人: R.特米罗夫;C.魏斯;F.S.陶茨 申请(专利权)人: 于利奇研究中心有限公司
主分类号: G01Q60/16 分类号: G01Q60/16;G01Q30/12
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 臧永杰;李家麟
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 测量 样品 引起 相互作用 方法
【权利要求书】:

1.用于测量由样品引起的力相互作用的方法,其中尖峰被施加相对样品的偏置电压并且以如此小的距离被引向样品,使得在尖峰和样品之间流过可测量的电流并且传感器和信号转换器S被构成并且在力相互作用的范围中被使用,所述传感器和信号转换器S根据力相互作用的强度改变流过尖峰样品接触的电流。

2.根据前述权利要求所述的方法,其特征在于,尖峰在扫描隧道显微镜中被引向样品并且通过尖峰样品接触的电流被测量。

3.根据权利要求所述1的方法,其特征在于,尖峰和样品共面地设置在衬底上。

4.根据前述权利要求3所述的方法,其特征在于,尖峰被引向样品,其方式是改变衬底从其平面出来的弯曲。

5.根据前述权利要求3或4之一所述的方法,其特征在于,尖峰在断裂接触中被引向样品。

6.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,传感器和信号转换器S被构成,该传感器和信号转换器S载有在尖峰和样品之间的电流的至少一部分并且其电导是可通过力相互作用改变的。

7.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,该电导通过改变传感器至样品的有效距离而被改变。

8.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,传感器和信号转换器S被构成,该传感器和信号转换器根据力相互作用来改变尖峰样品接触的电导。

9.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,建立在尖峰和样品之间的隧道接触。

10.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,测量与在尖峰和样品之间的距离相关的电流、电导和/或微分电导。

11.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,为了测量力相互作用分析电流、电导和/或微分电导与在尖峰和样品之间的距离的相关性与指数形状在何种程度上偏离。

12.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,测量电流、电导和/或微分电导与偏置电压的相关性。

13.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,通过偏置电压调整力相互作用的改变与传感器和信号转换器S对通过电流的影响的倒放大系数。

14.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,在不同偏置电压情况下作为这些测量参量的差而测量电流、电导和/或微分电导的由力相互作用得出的改变。

15.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,在包括尖峰和样品的回路中以偏置电压零对称地针对由正和负值构成的至少一个偏置电压对已经出现了微分电导的最大值或最小值之后,测量力相互作用。

16.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,在测量力相互作用之前选择具有100mV或者更小的数值的偏置电压。

17.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,在测量力相互作用期间选择具有40mv或者更小的数值、优选具有10mV、或5mV、或1mV或更小的数值的偏置电压。

18.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,在尖峰处和/或在样品处通过吸附、冷凝和/或再升华构成传感器和信号转换器S。

19.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,构成传感器和信号转换器S,其包括至少一个由两个原子组成的分子。

20.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,构成传感器和信号转换器S,该传感器和信号转换器S包括至少一个具有封闭壳的原子或分子。

21.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,由氢(H2)或者氘(D2)或者CO或者另外的轻的气体,例如氦,构成传感器和信号转换器S。

22.根据前述权利要求之一所述的方法,其特征在于,传感器和信号转换器S由气体构成,该气体被导向尖峰和/或样品,而所述尖峰和/或样品比所述气体的冷凝温度、吸附温度和/或再升华温度冷。

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