[发明专利]蒸发器、由蒸发器组成的机构和覆层设备

权利要求书

1.一种蒸发器，带有用于在真空中蒸发优选有机的材料以便尤其在制造有机的发光二极管或有机的太阳能电池和/或有机的电子器件时制造大面积覆层的热源，该蒸发器包括带有用于得到蒸发的材料的出口（5）的蒸发容器（3）和在该出口（5）后方布置的排出通道（7），得到蒸发的材料能够通过该排出通道流向待覆层的材料，其特征在于，在材料蒸发期间能够调整出口（5）的自由横截面和/或排出通道（7）的自由横截面。

2.按权利要求1所述的蒸发器，其特征在于，所述蒸发容器（3）布置成能相对所述排出通道（7）运动、优选回转，并且通过所述蒸发容器（3）相对所述排出通道（7）的相对运动、优选相对回转能够调整所述出口（5）和/或所述排出通道（7）的自由横截面。

3.按权利要求1或2所述的蒸发器，其特征在于，设置了调节和/或控制单元（12），用于根据额定值和/或实际值、优选气相覆层率或混合比例调整所述出口（5）的自由横截面和/或所述排出通道（7）的自由横截面。

4.按前述之一所述的蒸发器，其特征在于，热源是布置在蒸发容器（3）外部的、从外部仅通过热辐射加热蒸发容器（3）的辐射器（6）、优选石英辐射器、尤其双管式石英辐射器。

5.按前述权利要求之一所述的蒸发器，其特征在于，优选金属的蒸发容器（3）是薄壁的。

6.按前述权利要求之一所述的蒸发器，其特征在于，蒸发容器（3）和/或出口（5）具有伸长的、尤其线性的膨胀。

7.按前述权利要求之一所述的蒸发器，其特征在于，蒸发容器（3）设计成优选纵向开槽的、尤其金属的管。

8.按前述权利要求之一所述的蒸发器，其特征在于，实现辐射器（6）的确保对蒸发容器（3）均匀加热的数量和布置。

9.按前述权利要求之一所述的蒸发器，其特征在于，排出通道（7）是漏斗形的，并且得到蒸发的材料通过排出通道（7）能够直接流到相对排出通道（7）运动的、待覆层的基底（14）上。

10.按前述权利要求之一所述的蒸发器，其特征在于，排出通道（7）的壁（8）能加热，优选加热到略微超过有机材料的蒸发温度的温度。

11.按前述权利要求之一所述的蒸发器，其特征在于，设置了用于监控蒸发容器（3）的区域内的温度的传感器件，所述传感器件传导信号地与温度调节装置连接。

12.按前述权利要求之一所述的蒸发器，其特征在于，设置了尤其能借助于水得到冷却的壳体（2）。

13.由至少两个蒸发器（1）组成的机构，在所述至少两个蒸发器中有至少一个按前述权利要求之一所述那样设计。

14.按权利要求13所述的机构，其特征在于，蒸发器（1）的蒸发容器（3）平行地取向。

15.按权利要求13或14所述的机构，其特征在于，蒸发器（1）、优选其壳体（2）布置成能够相对彼此运动、优选回转、尤其围绕相互平行走向的回转轴线（9）回转。

16.覆层设备，带有尤其是为内联覆层设计的、按权利要求1至12之一所述的蒸发器（1）并且/或者带有按权利要求13至15之一所述的由至少两个蒸发器（1）组成的机构，并且带有用于在待覆层的基底（14）和至少一个蒸发器（1）之间产生相对运动的器件。

17.按权利要求1至12之一所述的蒸发器（1）和/或按权利要求13至15之一所述的机构和/或按权利要求16所述的覆层设备（13）的应用，用于在真空中蒸发有机的材料以便在制造有机的发光二极管或有机的太阳能电池时制造大面积的覆层。