[发明专利]基于等离子体信号与基板位置和电位相耦合来优化等离子体释放的方法和设备

权利要求书

1.用于优化释放程序的方法，该释放程序包括从位于等离子体处理系统中处理室内的下电极机械地移除基板，该方法包括：

进行初步分析，其中，该初步分析包括：

分析等离子体第一成组的电气特性数据，其中，该等离子体在所述释放程序过程中形成于该基板上，

把该第一成组的电气特性数据与成组的电气特性阈值进行比较，和

如果该第一成组的电气特性数据穿越该成组的电气特性阈值，关闭惰性气体；

从所述下电极抬升升降销以便把所述基板往上移动，其中，该升降销没有被抬升到最高位置；和

进行机械和电气分析，其中，该机械和电气分析包括：

分析第一成组的机械数据，其中，该成组的机械数据包括由该升降销施用的力量，

分析第二成组的电气特性数据，

把该第一成组的机械数据与成组的机械阈值进行比较并把该第二成组的电气特性数据与该成组的电气特性阈值进行比较，和

如果该第一成组的机械数据穿越该成组的机械阈值并且该第二成组的电气特性数据穿越该成组的电气特性阈值，由于基板释放事件已经发生，从该下电极移除该基板。

2.根据权利要求1所述的方法，如果在所述初步分析中所述第一成组的电气特性数据没有穿越该成组的电气特性阈值，其进一步包括执行，

把用于执行所述释放程序的当前时间与第一时间阈值进行比较，

如果所述用于执行所述释放程序的所述当前时间要大于所述第一时间阈值，调整所述惰性气体，并

重复所述初步分析。

3.根据权利要求1所述的方法，如果在所述初步分析中所述第一成组的电气特性数据没有穿越该成组的电气特性阈值，其进一步包括执行，

把用于执行所述释放程序的当前时间与第一时间阈值进行比较，

如果用于执行所述释放程序的所述当前时间不大于所述第一时间阈值，关闭所述惰性气体并且从所述下电极抬升所述升降销以向上移动所述基板，其中，所述升降销没有升到所述最高位置，并

执行所述机械和电气分析。

4.根据权利要求1所述的方法，如果至少一个所述第一成组的机械数据没有穿越该成组的机械阈值，并且所述第二成组的电气特性数据没有穿越该成组的电气特性阈值，其进一步包括执行

把用于执行所述释放程序的当前时间与第二时间阈值进行比较，

如果用于执行所述释放程序的所述当前时间要大于所述第二时间阈值，采用纠正措施，并

重复所述机械和电气分析。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述纠正措施包括增加所述惰性气体压力。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，所述纠正措施包括增加由所述升降销施用的所述力量。

7.根据权利要求4所述的方法，其中，所述纠正措施包括向所述下电极施用至少一个极性相反的偏置电压和偏置电流。

8.根据权利要求4所述的方法，其中，所述纠正措施不是均匀地施用在整个所述基板表面。

9.根据权利要求1所述的方法，如果至少一个所述第一成组的机械数据没有穿越该成组的机械阈值，并且所述第二成组的电气特性数据没有穿越该成组的电气特性阈值，其进一步包括执行，

把用于执行所述释放程序的当前时间与第二时间阈值进行比较，和

如果用于执行所述释放程序的所述当前时间不大于所述第二时间阈值，采用紧急程序以便把所述基板从所述下电极移除。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述紧急程序包括发送报警通知。

11.根据权利要求9所述的方法，其中，所述紧急程序包括向所述升降销施加高水平的力量以便把所述基板从所述下电极移除。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，该成组的电气特性包括等离子体阻抗。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，该成组的电气特性包括直流偏置电压。

14.根据权利要求1所述的方法，其中，该成组的电气特性包括电流发生器功率。