[发明专利]真空用阀框体及真空用阀

说明书

技术领域

本发明涉及当利用真空泵对真空容器进行真空排气时，以对排气系统进行切换等为目的所使用的真空阀以及构成该真空阀的框体。

背景技术

以往，作为真空用阀，例如在专利文献1中有所公开。通常如图1所示，这种阀构成为如下的真空用阀：其具备通过活塞杆1而在中空圆筒状的框体2内的长度方向上移动的阀体3，并在框体2的长度方向的端面具备通过阀体3开闭的排气口4，在框体2的侧面立起设置有具备凸缘部的中空圆筒体5，并在其端面形成成为排气口的开口面6，内部流路为L型。

在如上所述地在框体2的侧面立起设置中空圆筒体5的构造的情况下，存在阀的外形尺寸变大的问题。另外，由于通过焊接来接合至少2个中空圆筒状的构件2、5，因此，在真空气氛下从焊接部放出的气体会成为问题，存在无法用作高真空用以及/或者高纯度气体用的真空用阀的问题。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2001-324051号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

因此，本发明的目的是提供一种外径尺寸小并且不进行焊接的低制造成本的真空用阀框体以及由该框体所构成的真空用阀。

解决技术问题的手段

本发明的解决手段如技术方案1的记载，其特征在于，不具备中空圆筒体而具备成为流路的多个开口面，在长方体形状的框体的至少一面的中央部设置凹部，在上述凹部的底面的中央部设置开口面，并在上述开口面的外周的外侧设置用于固定其它配管的凸缘的螺栓孔。

另外，技术方案2记载的本发明是如技术方案1所记载的真空用阀框体，其特征在于，上述框体的构成构件是通过将铝或铝合金的块体进行切削加工而得到的。

另外，技术方案3记载的本发明是如技术方案1或2所记载的真空用阀框体，其特征在于，上述框体由铝或铝合金所构成，并对形成于上述框体内的流路表面进行了阳极氧化处理。

另外，技术方案4记载的本发明是如技术方案1所记载的真空用阀框体，其特征在于，上述框体是通过锻造成型或铸造成型而得到的。

另外，技术方案5记载的本发明是如技术方案1所记载的真空用阀框体，其特征在于，上述框体是通过板金加工而得到的。

另外，技术方案6记载的本发明是如技术方案5所记载的真空用阀框体，其特征在于，将在通过板金加工而将上述螺栓孔形成为有底孔时所产生的凸缘部作为阀座。

另外，本发明的真空用阀如技术方案7的记载，其特征在于，由技术方案1所记载的真空用阀框体构成。

发明效果

根据本发明，能够将用于与配管连接的部位不从框体突出地进行设置，而能够谋求真空用阀的省空间化。另外，能够不将2个构件焊接地制造阀框体，因此，能够在真空气氛下减少放出气体。

附图说明

图1是以往的真空用阀的侧剖视图。

图2(a)是本发明的一个实施方式的真空用阀的侧剖视图，图2(b)为其仰视图，图2(c)为其右侧视图。

图3为本发明的其它实施方式的真空用阀框体的制造例的说明图。

图4为在图3中所说明了的实施方式的变型例的说明图。

具体实施方式

本发明的用于真空用阀的框体，在阀座所抵接的界面的方向上，剖面形状为多边形状，并且优选设置为多边形状。例如，设置为八边形柱体(也包含正八边形柱体)、六边形柱体(也包含正六边形柱体)、长方体，更优选设置为立方体形状，在该框体内具备阀体与阀座，据此，作为真空用阀而发挥功能。

下面，参照附图，将本发明的一个实施方式的真空用阀与其阀框体一起进行说明。

图2所示的本发明的一个实施方式的真空用阀，在大致立方体形状的框体10的底面10a的中央部，设置有具备与底面10a垂直方向的轴的筒形状(图示为圆筒形状)的凹部10u-1，在该凹部10u-1的底面的中央部，设置有开口面11(下面，称为“阀开口面”)。在阀开口面11的外周的外侧，如图2(b)所示，以间隔均等的方式穿孔有螺栓孔26。另外，在该框体10中，没有设置成为流路的其它中空圆筒状的构件以及阀体。

另外，从阀开口面11起朝向框体10的内部形成有流路，该流路形成为在与设置于横向上的流路正交的部位，剖面变窄，在该部位形成有阀座12。