[发明专利]具有预热特征结构的基板传送机构

权利要求书

1.一种机械臂叶片组件，用于支撑位于该机械臂叶片组件上的基板或基板载体，该机械臂叶片组件包含：

底板；

感应加热组件，设置于该底板上；及

顶板，设置于该感应加热组件上方。

2.如权利要求1所述的机械臂叶片组件，其中该感应加热组件包含一或多个螺旋线圈。

3.如权利要求2所述的机械臂叶片组件，其中该一或多个螺旋线圈为平面的且彼此不互相重迭。

4.如权利要求2或3所述的机械臂叶片组件，其中该一或多个螺旋线圈中的每一个是以和相邻螺旋线圈相反的方向绕制的。

5.如权利要求2-4中任一项所述的机械臂叶片组件，其中该一或多个螺旋线圈是由包含多个各自绝缘的导线的缆线所绕制的。

6.如权利要求1-5中任一项所述的机械臂叶片组件，其中该顶板具有多个泵，这些泵经配置以在该顶板与支撑于该顶板上的该基板或基板载体之间提供一间隔。

7.如权利要求6所述的机械臂叶片组件，其中该顶板包含红外线透明介电材料。

8.如权利要求1-7中任一项所述的机械臂叶片组件，更包含：铁氧体衬垫，设置于该底板与该感应加热组件之间，其中该铁氧体衬垫经配置以反射电磁场。

9.如权利要求1-8中任一项所述的机械臂叶片组件，其中该底板包含：红外线反射膜，设置在面对该感应加热组件的一表面上。

10.一种丛集工具，包含：

传送腔室，具有传送空间；

负载锁定腔室，耦接至该传送腔室；

一或多个处理腔室，耦接至该传送腔室，其中该一或多个处理腔室经配置以在高温下处理基板；

基板传送机构，设置在该传送空间中并经配置以在该负载锁定腔室与该一或多个处理腔室之间传送基板；以及

感应加热组件，经配置以加热藉由该基板传送机构所传送的基板。

11.如权利要求10所述的丛集工具，其中该感应加热组件包含设置在该传送腔室上的一或多个线圈，并且该一或多个线圈经配置以在这些基板位于该传送空间中时感应性地加热设置在该基板传送机构上的基板。

12.如权利要求10所述的丛集工具，其中该基板传送机构包含：

如权利要求1-9中任一项所述的机械臂叶片组件；以及

杆臂组件，其中该机械臂叶片组件是安装在该杆臂组件上。

13.一种用于处理一或多个基板的方法，包含：

藉由传送机构将该一或多个基板自第一腔室传送至第二腔室，同时使用感应加热元件将该一或多个基板加热至第一温度；及

在第二温度下于该第二腔室中处理该一或多个基板，其中该第一温度是实质接近并小于该第二温度。

14.如权利要求13所述的方法，其中使用感应加热元件加热该一或多个基板的步骤包含以下步骤：

对设置在该传送机构的机械臂叶片组件中的一或多个感应加热元件施加RF功率源，其中该机械臂叶片组件是如权利要求1-9中任一项所述的机械臂叶片组件。

15.如权利要求13所述的方法，其中使用感应加热元件加热该一或多个基板的步骤包含以下步骤：

对设置在该第一腔室上的一或多个感应加热元件施加RF功率源。