[发明专利]引线型压电振动器件无效

专利信息
申请号: 201080041245.9 申请日: 2010-12-03
公开(公告)号: CN102511125A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 村上达也;古贺忠孝;岸本光市 申请(专利权)人: 株式会社大真空
主分类号: H03H9/10 分类号: H03H9/10;H01L41/09;H01L41/18;H03H9/19
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 许海兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 引线 压电 振动 器件
【权利要求书】:

1.一种引线型压电振动器件,其特征在于,

设置有压电振动片和支承所述压电振动片的引线端子,

与所述引线端子电连接的端子电极形成于所述压电振动片,

与所述压电振动片电连接的接合层形成于所述引线端子,

所述压电振动片和所述引线端子通过所述端子电极和所述接合层而机电地接合,

通过所述端子电极和所述接合层的接合,由所述端子电极和所述接合层形成了包含金属间化合物的接合材料。

2.根据权利要求1所述的引线型压电振动器件,其特征在于,

所述金属间化合物偏重存在于所述压电振动片与所述引线端子之间的最窄的间隙。

3.根据权利要求1或者2所述的引线型压电振动器件,其特征在于,

所述压电振动片与所述引线端子之间的最窄的间隙是3~20μm。

4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的引线型压电振动器件,其特征在于,

所述接合层包含Cu和Sn。

5.根据权利要求4所述的引线型压电振动器件,其特征在于,

所述接合层包括由Cu构成的第1接合层和在所述第1接合层上由Cu和Sn构成的第2接合层。

6.根据权利要求4或者5所述的引线型压电振动器件,其特征在于,

在所述端子电极的最上层形成有由Cu构成的Cu层。

7.根据权利要求6所述的引线型压电振动器件,其特征在于,

在所述端子电极中,在所述Cr层与所述Cr-Sn层之间形成有用于阻断Sn的扩散的势垒层。

8.根据权利要求1~7中的任意一项所述的引线型压电振动器件,其特征在于,

在所述接合材料中包含Sn,

所述压电振动片的激励电极经由润湿性比所述激励电极低的薄膜而连接到所述端子电极。

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