[发明专利]背接触太阳能电池中的通孔的激光钻孔

权利要求书

1.一种用于形成穿过衬底的孔的方法，其包括如下步骤：

使用激光扫描仪在所述衬底的表面的第一部分内形成穿过所述衬底的孔的第一图案；

将所述激光扫描仪定位在所述衬底的表面的第二部分上方，所述第二部分与所述第一部分相邻；以及

在所述第二部分内形成穿过所述衬底的孔的第二图案，其中，利用单次激光脉冲来形成每个孔。

2.根据权利要求1所述的处理，其中，所述激光扫描仪具有被构造为使得所产生的扫描区域基本小于所述衬底的表面区域的透镜。

3.根据权利要求2所述的处理，其中，所述激光扫描仪具有被构造为使得所产生的扫描区域小于所述衬底的表面区域的一半的透镜。

4.根据权利要求3所述的处理，还包括在形成所述孔的第一图案和第二图案期间移动所述衬底。

5.根据权利要求3所述的处理，其中，将所述激光扫描仪定位在所述第二部分上方包括相对于所述扫描仪移动所述衬底。

6.根据权利要求3所述的处理，其中，将所述激光扫描仪定位在所述第二部分上方包括移动所述激光扫描仪。

7.根据权利要求3所述的方法，还包括如下步骤：

将所述激光扫描仪定位在所述衬底的表面的第三部分上方，所述第三部分与所述第二部分相邻；以及

在所述第三部分内形成穿过所述衬底的孔的第三图案。

8.根据权利要求3所述的方法，其中，每个孔具有在约40μm到约70μm之间的直径。

9.根据权利要求3所述的方法，其中，所述衬底具有约156mm的宽度、约156mm的长度以及约0.3mm的厚度。

10.一种用于形成穿过衬底的孔的图案的设备，其包括：

系统控制器；

定位台，其构造为在平面内移动所述衬底，其中，通过来自所述系统控制器的指令来控制所述衬底的移动；

激光扫描仪，其构造为具有基本小于所述衬底的表面区域的扫描区域，其中，所述激光扫描仪被构造为在所述衬底的表面区域的第一部分内形成穿过所述衬底的孔的图案，而不需要移动所述衬底或所述激光扫描仪，其中，所述激光扫描仪包括：

激光源；以及

布置在激光器与所述衬底之间的透镜，其中，所述系统控制器控制所述激光源以将电磁能量发射透过所述透镜，以使得利用单次激光脉冲形成每个孔。

11.根据权利要求10所述的设备，其中，所述透镜具有约163mm的焦距。

12.根据权利要求10所述的设备，其中，所述透镜具有约100mm的焦距。

13.根据权利要求10所述的设备，还包括被构造为移动所述激光扫描仪的定位台架。

14.根据权利要求10所述的设备，其中，所述激光器被构造为发射在约1030nm的波长下的电磁能量。