[发明专利]光波导元件模块

权利要求书

1.一种光波导元件模块，具有：

光波导元件，具有在基板上形成的光波导及对在该光波导传送的光波进行调制的调制电极；

连接器，连接有向该调制电极输入调制信号的外部信号线；以及

中继线路，连接该连接器和该调制电极并且形成在中继基板上，

所述光波导元件模块的特征在于，

该中继线路是用接地电极夹着信号电极的共平面型线路，构成为该中继线路的阻抗阶段性或连续性地变化且抑制该光波导元件模块内的该调制信号的反射，

在该中继线路的中途配置有包括电容器在内的滤波器电路。

2.根据权利要求1所述的光波导元件模块，其特征在于，

该中继线路的长度不是作为调制信号的微波波长的四分之一的整数倍的长度。

3.根据权利要求1或2所述的光波导元件模块，其特征在于，

该中继线路的长度小于作为调制信号的微波波长的二分之一。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光波导元件模块，其特征在于，

该中继线路的阻抗阶段性地变化，构成各阶段的块中的中继线路的长度小于作为调制信号的微波波长的四分之一。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光波导元件模块，其特征在于，

该中继线路中，该信号电极和该接地电极的间隙以从连接器侧朝向光波导元件侧变窄的方式被调整。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光波导元件模块，其特征在于，

在该中继线路的周围配置的一部分的材料的介电常数以从连接器侧朝向光波导元件侧变大的方式被调整。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光波导元件模块，其特征在于，

该电容器将多个层叠陶瓷电容器在滤波器电路基板上层叠配置，并且每一个该层叠陶瓷电容器的静电电容为3pF以下。

8.根据权利要求7所述的光波导元件模块，其特征在于，

该滤波器电路具有由在该中继基板上形成的膜体构成的电阻，并与该电阻重叠而配置层叠陶瓷电容器。

9.根据权利要求1～6中任一项所述的光波导元件模块，其特征在于，

该电容器为单板电容器，该电容器内的电极间的距离为0.05mm以下，且该电极间内的电介质的相对介电常数为1000以下，该滤波器电路产生的共振频率高于20GHz。

10.根据权利要求9所述的光波导元件模块，其特征在于，

该滤波器电路中，以该单板电容器的下表面的电极接触在该中继基板上形成的多个电气线路中的一个电气线路的方式配置该单板电容器，利用导电线将该单板电容器的上表面的电极及其他电气线路连接。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的光波导元件模块，其特征在于，

该滤波器电路包括由在该中继基板上形成的膜体构成的电阻。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的光波导元件模块，其特征在于，

将终端电路连接于该调制电极的终端部。