[发明专利]用于跟踪基板的边缘及从基板的边缘去除涂层的系统和方法

权利要求书

1.一种用于从基板去除涂层的方法，所述方法包括：

定位基板的边缘；

以适合于沿着第二路径重新引导激光束的入射角度，沿着第一路径引导激光束到达基板的表面上接近基板的边缘的第一位置，引导激光束通过基板，引导激光束到达基板的第二表面上与基板的被定位的边缘对应的第二位置，第二表面包括涂层；

使位于基板的第二表面上的第二位置处的至少一部分涂层消融。

2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：沿着接近基板的被定位的边缘的区域扫描激光束。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，扫描包括：将基板调节到一个或多个新位置。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，扫描包括：将激光源调节到一个或多个新位置。

5.根据权利要求2所述的方法，其中，扫描包括：靠近第一无涂覆区形成一个或多个相邻的无涂覆区。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，消融包括：形成第一无涂覆区。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，第一无涂覆区基本等于最小无涂覆边缘宽度。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，消融包括：形成一个或多个相邻的无涂覆区，

其中，所述一个或多个相邻的无涂覆区和第一无涂覆区的组合基本等于最小无涂覆边缘宽度。

9.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：将基板调节到一个或多个新位置。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，调节包括：在水平面或竖直面上重新布置基板，或者在水平面和竖直面两个平面上重新布置基板。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法还包括：将激光源调节到一个或多个新位置。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，调节包括：在水平面或竖直面上重新布置激光，或者在水平面和竖直面两个平面上重新布置激光。

13.一种用于从基板去除涂层的系统，所述系统包括：

第一数据接口，用于接收和传送与基板的一个或多个边缘相关的数据；

第二数据接口，用于接收和传送与基板的一个或多个边缘相关的数据；

传感器，与第一数据接口通信，传感器用于检测和跟踪基板的边缘，传感器还用于通过第一数据接口输出边缘位置标识符，边缘位置标识符定义基板的边缘的位置；

控制器，与传感器通信，控制器被构造成通过第一数据接口从传感器接收边缘位置标识符，并基于接收的边缘位置标识符输出调节信号；

涂层去除装置，被构造成从基板的边缘去除一部分涂层，以形成一个或多个无涂覆区，涂层去除装置包括激光源。

14.根据权利要求13所述的系统，其中，控制器还被构造成接收边缘宽度标识符，并基于边缘宽度标识符输出调节信号，边缘宽度标识符定义基板的最小边缘宽度。

15.根据权利要求13所述的系统，所述系统还包括致动器，其中，致动器被构造成通过第二数据接口从控制器接收调节信号。

16.根据权利要求15所述的系统，其中，致动器被构造成基于接收的调节信号将基板调节到一个或多个新位置。

17.根据权利要求16所述的系统，其中，致动器被构造成在水平面或竖直面上重新布置基板，或者在水平面和竖直面两个平面上重新布置基板。

18.根据权利要求15所述的系统，其中，致动器被构造成基于接收的调节信号将安装板调节到一个或多个新位置。

19.根据权利要求18所述的系统，其中，致动器被构造成在水平面或竖直面上调节安装板，或者在水平面和竖直面两个平面上调节安装板。

20.根据权利要求18所述的系统，其中，安装板包括间隙，使得安装板的两个部分彼此部分地分开且平行地平放。

21.根据权利要求20所述的系统，其中，所述间隙被构造成容纳基板。

22.根据权利要求20所述的系统，其中，涂层去除装置沿着所述间隙的边缘被安装。

23.根据权利要求18所述的系统，其中，涂层去除装置布置在安装板上。