[发明专利]表面硬化深度的涡流检验

权利要求书

1.一种用于检验零件上的表面硬化深度的多频涡流(MEEC)检验系统，所述MFEC检验系统包括：

发生器，其配置成生成一个或多个多频激励信号；

涡流探头，其配置成设置在所述零件的一侧并且包括一个或多个驱动器和一个或多个拾取传感器，其中所述一个或多个驱动器配置成接收所述一个或多个多频激励信号，以便在所述零件中感应涡流，而所述一个或多个拾取传感器配置成检测所述零件的局部区域中的所感应的涡流，以便生成一个或多个多频响应信号；以及

处理器，其配置成接收所述一个或多个多频响应信号供处理，以便确定所述零件的所述局部区域的表面硬化深度。

2.如权利要求1所述的MFEC检验系统，其中，所述发生器包括函数发生器。

3.如权利要求2所述的MFEC检验系统，其中，所述处理器包括锁定放大器，并且其中所述函数发生器还配置成向所述锁定放大器供给具有与所述相应一个或多个多频响应信号相同的频率的一个或多个参考信号。

4.如权利要求1所述的MFEC检验系统，还包括设置在所述涡流探头与所述处理器之间的放大器，以便放大所述多频响应信号。

5.如权利要求1所述的MFEC检验系统，其中，所述一个或多个驱动器和所述一个或多个拾取传感器包括绕组，并且其中所述一个或多个驱动器和所述一个或多个拾取传感器的每个具有圆筒形状或矩形形状。

6.如权利要求5所述的MFEC检验系统，其中，所述一个或多个拾取传感器包括一个或多个固态磁传感器，并且其中所述一个或多个固态磁传感器包括各向异性磁阻(AMR)传感器、巨磁阻(GMR)传感器、隧穿磁阻(TMR)、异常磁阻(EMR)传感器、巨磁阻抗(GMI)和霍耳传感器中的一个或多个。

7.如权利要求5所述的MFEC检验系统，其中，所述一个或多个驱动器和所述一个或多个拾取传感器的每个具有圆筒形状，其中所述零件具有圆筒形状，并且其中所述一个或多个驱动器和所述一个或多个拾取传感器其中之一的至少一个轴与所述零件的轴平行。

8.如权利要求1所述的MFEC检验系统，其中，所述一个或多个驱动器和所述一个或多个拾取传感器包括配置成直接面向所述零件的所述局部区域的至少一个相应表层，并且其中所述一个或多个驱动器和所述一个或多个拾取传感器的所述至少两个相应表层是共面的，或者它们之间具有角度。

9.如权利要求8所述的MFEC检验系统，其中，所述一个或多个拾取传感器的每个包括上拾取传感器以及设置在所述上拾取传感器下面的下拾取传感器，并且其中所述一个或多个驱动器和所述下拾取传感器的表层配置成直接面向所述零件的所述局部区域。

10.如权利要求9所述的MFEC检验系统，其中，所述一个或多个驱动器的每个包括上驱动器以及设置在所述上驱动器下面的下驱动器，并且其中所述下驱动器和所述下拾取传感器的表层直接面向所述零件的所述局部区域。

11.一种用于检验零件的表面硬化深度的脉冲涡流(PEC)检验系统，所述PEC检验系统包括：

脉冲发生器，其配置成生成一个或多个脉冲激励信号；

涡流探头，其配置成设置在所述零件的一侧，并且包括一个或多个驱动器和一个或多个拾取传感器，其中所述一个或多个驱动器配置成接收所述一个或多个脉冲激励信号，以便在所述零件中感应涡流，而所述一个或多个拾取传感器配置成检测所述零件的局部区域中的所感应的涡流，以便生成一个或多个多频响应信号；以及

处理器，其配置成接收所述一个或多个多频响应信号供处理，以便确定所述零件的所述局部区域的表面硬化深度。

12.如权利要求11所述的FEC检验系统，还包括模数转换器，其设置在所述涡流探头与所述处理器之间，并且配置成数字化所述一个或多个多频响应信号。

13.如权利要求11所述的PEC检验系统，其中，所述一个或多个驱动器和所述一个或多个拾取传感器包括绕组，并且其中所述一个或多个驱动器和所述一个或多个拾取传感器的每个具有圆筒形状或矩形形状。