[发明专利]探针板

权利要求书

1.一种探针板，其用于对被检查体的电气特性进行检查，其特征在于，

所述探针板具有：

多个触头，该多个触头在检查时与被检查体接触；

多个测试芯片，该多个测试芯片在与所述被检查体之间发送接收检查用的电信号，且对该被检查体的电气特性进行检查；

导电部，该导电部对所述触头和与该触头对应的所述测试芯片进行电连接，并在下表面配置所述多个触头；以及

按压部，该按压部在检查时将所述导电部向被检查体侧按压，并在触头与被检查体之间施加按压力。

2.根据权利要求1所述的探针板，其特征在于，

所述触头由具备弹性的触头支承板支承，

所述触头支承板被设置于所述导电部的下方。

3.根据权利要求2所述的探针板，其特征在于，

所述导电部具有：具有柔软性的绝缘层；以及形成于该绝缘层的配线层。

4.根据权利要求3所述的探针板，其特征在于，

所述按压部是将所述导电部、与所述导电部的外周缘部气密地连接的弹性部件、以及设置于所述测试芯片的上方的支承部件接合而构成的，

在该按压部的内部能够封入流体，

所述测试芯片被收容于所述按压部的内部。

5.根据权利要求4所述的探针板，其特征在于，

所述探针板具有对所述测试芯片进行安装的平板状的安装用基板，

所述安装用基板在所述导电部上竖立设置于与所述触头对应的位置的上方，

所述安装用基板与所述导电部电连接。

6.根据权利要求5所述的探针板，其特征在于，

在所述导电部的上表面设置有能装拆所述安装用基板的连接用部件，

所述安装用基板与所述导电部经由所述连接用部件电连接。

7.根据权利要求4所述的探针板，其特征在于，

在所述按压部设置有：向所述按压部的内部供给流体的流体供给口、以及从所述按压部的内部排出流体的流体排出口。

8.根据权利要求5所述的探针板，其特征在于，

在所述按压部设置：向所述按压部的内部供给流体的流体供给口、以及从所述按压部的内部排出流体的流体排出口，

所述安装用基板被配置为，与利用所述流体供给口和所述流体排出口形成于所述按压部的内部的流体的流动平行。

9.根据权利要求4所述的探针板，其特征在于，

所述导电部与控制装置电连接，该控制装置进行向所述测试芯片的电源供给、和检查时必要的控制信号以及检查数据的发送接收。

10.根据权利要求9所述的探针板，其特征在于，

所述导电部具有：对所述多个触头与所述多个测试芯片进行电连接的多个触头配线部；以及对所述多个测试芯片与所述控制装置进行电连接的外部配线部，

所述多个触头配线部，层叠于所述触头支承板的上表面且是与所述多个测试芯片对应的位置的下方设置，

所述外部配线部被设置于所述多个触头配线部的上表面。

11.一种探针板，其用于对被检查体的电气特性进行检查，其特征在于，

所述探针板具有：

形成贯通孔的电路基板；

与被检查体接触的多个触头；

触头支承板，该触头支承板设置于所述电路基板的下方，且支承所述多个触头；以及

按压部，该按压部在检查时从所述电路基板的上方插通该电路基板的贯通孔并将所述触头支承板向被检查体侧按压，在所述多个触头与所述被检查体之间施加按压力。

12.根据权利要求11所述的探针板，其特征在于，

在所述按压部与所述触头支承板之间设置将所述按压部的按压力传递到所述触头支承板的按压力传递部件，

所述按压力传递部件被设置为在所述电路基板的贯通孔中插通。

13.根据权利要求11所述的探针板，其特征在于，

所述按压部由能够在内部封入流体的具有可挠性的流体腔室形成。

14.根据权利要求11所述的探针板，其特征在于，

所述触头与所述电路基板由具有弹性的弹性导体电连接。

15.根据权利要求11所述的探针板，其特征在于，

所述电路基板经由保持该电路基板的外周部的保持部件而被支承于在所述按压部的上表面设置的支承板，

所述触头支承板经由被支承于所述保持部件的弹性部件而被支承于所述保持部件。