[发明专利]三维微结构、具有至少两个三维微结构的装置、用于制造所述微结构的方法和所述微结构的应用

权利要求书

1. 三维微结构(1)，其具有：

大量的彼此邻近的、相对于其相应的微柱纵向伸展部（21）基本彼此平行地且彼此间隔地被安置的微柱（2），所述微柱具有至少一种无定形的微柱材料(20，201，202)，所述微柱各自具有一在20至1000范围内的纵横比，并各自具有一在0. 1微米直至200微米范围内的微柱直径（22）；和

在毗邻的微柱之间配设的微柱空隙（3），所述微柱空隙具有在所述毗邻的微柱之间从1微米至100微米范围中选出的微柱间距（31）。

2. 按权利要求1所述的微结构，其中，所述微柱直径在0.3微米至200微米的范围内选取。

3. 按权利要求1或2所述的微结构，其中，所述微柱中的至少一个微柱的微柱纵向伸展部在50微米至10毫米的范围中选取，并且特别地从100微米至1毫米的范围中选取。

4. 按权利要求1至3中任一项所述的微结构，其中，所述微柱中的至少一个微柱具有至少两个沿着所述微柱纵向伸展部被安置的部段(210，220)，所述部段(210，220)具有彼此不同的无定形的微柱材料(201，202)。

5. 按权利要求1至4中任一项所述的微结构，其中，所述微柱中的至少两个微柱具有彼此不同的无定形的微柱材料(201，202)。

6. 按权利要求1至5中任一项所述的微结构，其中，所述微柱中的至少一个微柱具有至少一个包覆体(27)，该包覆体(27)具有至少一种包覆材料，并且所述微柱的所述微柱材料与所述包覆体的所述包覆材料彼此不同。

7. 按权利要求1至6中任一项所述的微结构，其中，至少一种空隙材料(33)被设置在所述毗邻的微柱之间的微柱空隙中。

8. 按权利要求7所述的微结构，其中，所述空隙材料形成一种粘着的空隙层(32)，通过所述空隙层(32)，所述毗邻的微结构柱被固定。

9. 按权利要求1至8中任一项所述的微结构，其中，至少两种空隙材料被设置在所述毗邻的微柱之间的微柱空隙中，所述至少两种空隙材料各自形成至少一种粘着的空隙层。

10. 按权利要求1至9中任一项所述的微结构，其中，所述微柱中的至少一个微柱具有一微柱空腔(29)。

11. 按权利要求1至10中任一项所述的微结构，其中，所述微柱中的至少一个微柱具有一种沿着所述微柱的所述微柱纵向伸展部变化的微柱直径。

12. 按权利要求1至11中任一项所述的微结构，其中，所述大量的微柱被设置在一具有载体材料(41)的共同的载体(4)上。

13. 按权利要求1至12中任一项所述的微结构，其中，在至少一部分的所述微柱的所述端部(26)处安置一功能层(28)，该功能层具有功能材料（280）。

14. 至少两个按前述权利要求中任一项所述的微结构的装置，其中，所述微结构之一的所述微柱被安置在另一微结构的微柱空隙中，反之亦然。

15. 按权利要求14所述的装置，其中，所述微结构具有带有彼此不同的微柱材料的微柱。

16. 用于建造按权利要求1至13中任一项所述的三维的微结构的方法，其具有如下方法步骤:

a) 用模板材料（50）制备一模板（5），其中，所述模板具有一基本与所述微结构相反的三维的模板结构（51），所述三维的模板结构具有柱状的模板空腔（52），

b) 将所述微柱材料安置在所述柱状的模板空腔中，从而形成所述微柱，并且

c) 至少部分地移去所述模板材料。

17. 按照权利要求16所述的方法，其中，为了安置所述微柱材料，执行如下的进一步的步骤方法：

d) 将所述微柱材料的原料引入到所述模板空腔中，并且

e) 将所述微柱材料的原料转化为微结构材料。

18. 按权利要求16或17所述的微结构，其中，使用一模板，该模板以硅作为模板材料。

19. 按照权利要求16至18中任一项所述的方法，其中，使用一模板，该模板具有用于所述微结构的一载体，该载体具有一种载体材料。