[发明专利]基板用玻璃板、其制造方法及TFT面板的制造方法

权利要求书

1.一种基板用玻璃板，其中，

作为玻璃基本组成，以氧化物为基准的摩尔％表示，包含：

SiO₂     67～72、

Al₂O₃     31～7、

B₂O₃     0～4、

MgO      11～15、

CaO      0～3、

SrO      0～3、

BaO      0～4、

ZrO₂     0～4、

Na₂O     8～15、

K₂O      0～7，

SiO₂+Al₂O₃为71～77，

MgO+CaO+SrO+BaO为11～17，

Na₂O+K₂O为8～17，且

满足以下关系：K₂O/(Na₂O+K₂O)≤0.13×(SiO₂+Al₂O₃+0.5B₂O₃+0.3BaO)-9.4；

β-OH值(mm^-1)为0.05～0.5，

热收缩率(C)为16ppm以下。

2.如权利要求1所述的基板用玻璃板，其中，

作为玻璃基本组成，以氧化物为基准的摩尔％表示，包含：

SiO₂     67～72、

Al₂O₃    1～7、

B₂O₃     0～4、

MgO      11～15、

CaO      0～3、

SrO      0～3、

BaO     0～2、

ZrO₂    0～4、

Na₂O    8～15、

K₂O     0～7，

SiO₂+Al₂O₃为73～77，

MgO+CaO+SrO+BaO为11～17，

Na₂O+K₂O为8～17，且

满足以下关系：K₂O/(Na₂O+K₂O)≤0.13×(SiO₂+Al₂O₃)-9.4；

β-OH值(mm^-1)为0.05～0.5，

热收缩率(C)为16ppm以下。

3.如权利要求1或2所述的基板用玻璃板，其中，50～350℃的平均热膨胀系数为85×10^-7/℃以下，玻璃化转变温度(Tg)为560℃以上，玻璃的粘度达到10²dPa·s时的温度T₂为1700℃以下，玻璃的粘度达到10⁴dPa·s时的温度T₄为1250℃以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的基板用玻璃板，其中，β-OH值(mm^-1)为0.2～0.5。

5.如权利要求1～4中任一项所述的基板用玻璃板，其中，以氧化物为基准的摩尔％表示，SiO₂的含量为67～70.5，Na₂O的含量为8～12.8。