[发明专利]清扫嘴和具备该清扫嘴的尘埃除去装置无效
申请号: | 201080043857.1 | 申请日: | 2010-09-21 |
公开(公告)号: | CN102548673A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 安田忠睦;田村保则 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | B08B5/04 | 分类号: | B08B5/04;B08B5/00;H01L21/304 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清扫 具备 尘埃 除去 装置 | ||
1.一种清扫嘴,其特征在于,
具备吸入嘴,该吸入嘴在内部具有气体流路,且在一端形成有吸入口,并且在另一端形成有排气口,利用从上述吸入口吸入并从上述排气口排出的抽吸气流使附着于被处理体的表面的尘埃脱离,
在上述吸入嘴内面的至少一部分设有用于捕获上述尘埃的粘附层。
2.根据权利要求1所述的清扫嘴,其特征在于,
还具备整流单元,该整流单元使上述抽吸气流呈螺旋状地沿着上述吸入嘴内面。
3.根据权利要求2所述的清扫嘴,其特征在于,
上述整流单元是在顶端形成有喷出压缩气体的喷出口的喷出嘴,上述喷出口的压缩气体喷出方向的朝向相对于该吸入嘴内面设定成使压缩气体沿着上述吸入嘴内面。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的清扫嘴,其特征在于,
上述气体流路以流路面积从上述吸入口侧朝向上述排气口侧逐渐变窄的方式越往里越窄地形成。
5.根据权利要求4所述的清扫嘴,其特征在于,
上述气体流路形成为流路直径从上述吸入口侧朝向上述排气口侧逐渐地缩小的圆锥台形状。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的清扫嘴,其特征在于,
上述粘附层包含硅酮系粘附材料或者丙烯酸系粘附材料。
7.一种尘埃除去装置,其特征在于,具备:
权利要求1至6中的任一项所述的清扫嘴;
负压单元,其通过配管连接到上述吸入嘴的排气口,通过驱动使上述吸入嘴的内部成为负压状态;以及
保持台,其保持被处理体,
上述尘埃除去装置构成为:在使上述吸入嘴的吸入口与保持于上述保持台的被处理体对应的状态下,通过上述负压单元的驱动使上述吸入嘴的内部成为负压状态而产生抽吸气流,利用上述抽吸气流使附着于上述被处理体的表面的尘埃脱离,使该尘埃附着于吸入嘴内面的粘附层而捕获该尘埃。
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