[发明专利]元件阵列和元件阵列层叠体

说明书

技术领域

本发明涉及元件阵列和元件阵列层叠体。

背景技术

近些年，小尺寸和薄型的成像单元已经被安装到便携式的电子装置终端，如便携式电话或PDA(个人数字助理)。这种成像单元通常被安置有固态图像传感器如CCD(电荷耦合器件)图像传感器或CMOS(互补金属氧化物半导体)图像传感器，以及用于在固态图像传感器的光接收区域成像的透镜组。

随着便携终端的小型化和薄型化以及便携终端的广泛使用，已经对安装在便携终端上的成像单元的进一步小型化和薄型化有了需要，同时对其生产率也有要求。作为对这种要求的回应，已经提出了以这样的方式大量生产透镜阵列层叠体模块的技术：使大量透镜和用于使那些透镜彼此连接的连接部整体由光固性或热固性树脂材料形成从而由此构成每一个透镜阵列，所述透镜阵列被放入多个层中从而形成透镜阵列层叠体，并且将所述透镜阵列层叠体划分为各自包含在层叠方向上排列的透镜组的多个模块(参见专利文献1(WO 08/153102))。

在被安装到便携电话等上的成像单元中，在透镜组中典型地需要μm级的对准精度。透镜组中的对准精度取决于每一个透镜阵列中的透镜的间距(pitch)精度。在专利文献1中公开的技术中，例如，由于在树脂材料的固化期间光强度或温度的变化的影响，可能出现透镜之间的间距误差。此外，用于使树脂材料成型的模具的透镜形成表面当中的间距误差或由从模具释放透镜阵列而导致的透镜阵列的变形可能导致透镜之间的间距误差。由于一系列的这样的误差因素，难以根据在专利文献1中公开的技术使整个透镜阵列中的透镜之间的间距误差下降到μm级。

为解决上述问题，在其中整体形成大量透镜和使透镜彼此连接的连接部的透镜阵列中，已经提出了这样的技术：在连接部中形成缝隙以使连接部具有柔性，从而致使透镜之间的间距误差可以被连接部的变形吸收(参见专利文献2(JP-A-2004-226872))。

发明概述

仅通过在由与透镜相同的材料整体形成的连接部中形成缝隙，不足以使连接部具有足够的柔性。因此，已经存在这样的担心，即透镜之间的间距误差不能令人满意地被吸收。

考虑到上述情形，开发了本发明。本发明的一个目的是提供一种元件阵列，其中在使多个元件阵列层叠的步骤中该元件阵列中的元件之间的间距误差可以被确定地吸收，以使在层叠方向上排列的每一组元件都能够以高的精度对准。

元件阵列包括一维排列或二维排列的多个元件，以及由比形成所述元件的材料更富于弹性的材料形成的柔性载体；其中：所述元件通过载体彼此连接。

根据本发明，载体由比形成元件的材料更富于弹性的材料形成，以致可以在该载体中确保足以吸收元件之间的间距误差的柔性。因此，可以在使多个元件阵列层叠的步骤中确定地吸收元件之间的间距误差，以致可以获得这样的元件阵列层叠体，其中在层叠方向上排列的每一组元件以高的精度对准。

附图简述

图1是显示用于说明本发明的实施方案的元件阵列的实例的图。

图2是以在线II-II上截取的剖面图显示图1中的元件阵列的图。

图3A至3D是显示制造图1中的元件阵列的方法的实例的图。

图4是显示图1中的元件阵列的改型的图。

图5A至5D是显示制造图4中的元件阵列的方法的实例的图。

图6是显示用于说明本发明的实施方案的元件阵列层叠体的实例的图。

图7A是显示形成图6中的元件阵列层叠体的多个元件阵列还未被层叠时的状态的图，而图7B是显示所述元件阵列已经被层叠从而形成元件阵列层叠体时的状态的图。

图8是由图7B中的元件阵列层叠体中的虚线圆VIII包围的部分的放大图。

图9显示图1中的元件阵列的改型以及它的层叠体的图。

图10是显示图1中的元件阵列的另一个改型以及它的层叠体的图。

图11是显示图1中的元件阵列的另一个改型以及它的层叠体的图。

图12是显示用于说明本发明的实施方案的元件阵列层叠体的另一个实例的图。

图13是显示用于说明本发明的实施方案的元件阵列的另一个实例的图。

图14是显示用于说明本发明的实施方案的元件阵列的另一个实例的图。

图15A和15B是显示用于制造图14中的元件阵列的方法的实例的图。

图16是显示图14中的元件阵列的改型的图。

图17A至17D是显示用于制造图16中的元件阵列的方法的实例的图。