[发明专利]太阳能电池设备及其制造方法无效
申请号: | 201080045479.0 | 申请日: | 2010-10-07 |
公开(公告)号: | CN102576761A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 白程植 | 申请(专利权)人: | LG伊诺特有限公司 |
主分类号: | H01L31/042 | 分类号: | H01L31/042 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 许向彤;林锦辉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 设备 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池设备及其制造方法。
背景技术
已广泛使用通过光电转换将光能转换为电能的太阳能电池模块,以获得对地球环境保护有利的清洁能源。
随着太阳能电池光电转换效率的提高,包括太阳能电池模块的太阳能电池系统不仅用于住宅,还用作建筑外部材料。
发明内容
技术问题
本发明提供一种太阳能电池设备及其制造方法,在该方法中,同时制造若干太阳能电池设备。
技术方案
根据本发明,一种太阳能电池设备包括:支撑衬底;后电极层,在所述支撑衬底上;光吸收层,覆盖所述后电极层,同时露出所述后电极层的第一露出区域;以及窗口层,覆盖所述光吸收层,同时露出所述光吸收层的第二露出区域。
根据本发明,一种太阳能电池设备的制造方法包括:通过利用掩膜在支撑衬底上形成后电极层;相对于所述支撑衬底初次移动述掩膜并且通过利用所述掩膜在所述后电极层上形成光吸收层;以及相对于所述支撑衬底再次移动所述掩膜并且在所述光吸收层上形成窗口层。
根据本发明,一种太阳能电池设备包括:支撑衬底;后电极层,在所述支撑衬底上且具有第一通孔;光吸收层,设置在所述后电极层上,并且具有在所述第一通孔旁边的第二通孔;以及窗口层,设置在所述光吸收层上,并且具有与所述第二通孔重叠的第三通孔。所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔的宽度彼此对应。
有益效果
如上所述,根据实施例的太阳能电池设备制造方法,可以通过利用一个掩膜形成后电极层、光吸收层和窗口层。因此,根据实施例的太阳能电池设备不需要更换掩膜以形成上述层。
具体地,根据实施例的太阳能电池设备制造方法,通过无线方式控制掩膜,经由一个真空过程连续地沉积后电极层、光吸收层和窗口层。
换言之,根据实施例的太阳能电池设备制造方法,通过在一个真空状态中利用一个掩膜可以容易地制造被划分为多个电池的太阳能电池设备。
因此,根据实施例的太阳能电池设备制造方法,可以容易地利用自动化过程,从而可以批量制造诸如太阳能电池板的太阳能电池设备。
附图说明
图1是示出用于制造根据实施例的太阳能电池设备的掩膜的平面图;以及
图2至5是示出根据实施例的太阳能电池设备的剖视图。
具体实施方式
在实施例的描述中,应该理解,当层(或膜)、区域、图案或结构被表述为在其它衬底、其它层(或膜)、其它区域、其它衬垫、或其它图案“上”或“下”时,它可以“直接地”或“间接地”在所述其它衬底、层(或膜)、区域、衬垫、或图案上,或者也可以存在一个或多个中间层。参照附图描述了所述层的这种位置关系。为了方便或清楚的目的,可以夸大、省略或示意性地描绘附图中各个层的厚度和尺寸。另外,元件的尺寸不完全反映实际尺寸。
图1是是示出用于制造根据实施例的太阳能电池设备的掩膜的平面图,图2至5是示出根据实施例的太阳能电池设备的剖视图。
参照图1和2,掩膜10被设置在支撑衬底100上。
支撑衬底100具有板形形状。支撑衬底100包含绝缘体。支撑衬底100可以包括玻璃衬底、塑料衬底或金属衬底。
详细地,支撑衬底100可以包括钠钙玻璃衬底。支撑衬底100可以是透明的。支撑衬底100可以是挠性或刚性的。
如图1所示,掩膜10包括掩膜框架11和多个掩膜图案12。
掩膜框架11具有矩形框架。当俯视时,掩膜框架11可以具有闭合环形状。此外,当俯视时,掩膜框架11比支撑衬底100大。
掩膜框架11可以包括表现高耐热性的金属。
掩膜图案12设置在掩膜框架11内侧。此外,掩膜图案12与掩膜框架11连接。掩膜图案12被设置为平行的,同时彼此隔开预定距离。
掩膜图案12沿第一方向延伸。例如,每个掩膜图案12的宽度W1可以在约10μm至约200μm的范围内。掩膜图案12可以彼此隔开预定间隔。此外,掩膜图案12可以彼此平行地设置。
如图1和2所示,掩膜框架11覆盖支撑衬底100的外部。换言之,掩膜框架11与支撑衬底100的侧表面区域相对应地设置。
参照图3,通过利用掩膜10在支撑衬底100上形成后电极层200。换言之,在通过掩膜10将诸如钼(Mo)的金属沉积在支撑衬底100上之后,形成后电极层200。
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