[发明专利]流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及对在半导体工序(process)中所使用的材料气体等的流量进行控制的质量流量控制器、用于该质量流量控制器的流量测量机构以及压力传感器。

背景技术

作为用于所述的流量测量机构及质量流量控制器的压力传感器，如专利文献1所示，公知的有如下的压力传感器，该压力传感器利用设置于隔膜(diaphragm)等上的感压面来承受流体的压力，根据所述感压面的位移来测量流体压力。对于该方式的压力传感器而言，受压构件的感压面的面积越大，则灵敏度越高。

可是，在以往的质量流量控制器中，存在具有在主体中安装有压力传感器及流量调节阀等结构的质量流量控制器，在所述主体内部形成有控制对象流体流动的流路。尤其是近年来，根据使多个质量流量控制器紧凑地并排的要求等，如图10所示，已开发出如下的质量流量控制器100′，该质量流量控制器100′的主体1′为细长的形状，并且在设定为与该主体1′的长边方向平行的一个面上的部件安装面1c′上，沿着所述长边方向串联地安装有压力传感器2′及流量调节阀4′等，从而将质量流量控制器整体的宽度方向尺寸控制成较小。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开公报实开平2-55123号

本发明所要解决的技术问题

然而，对于以往的质量流量控制器而言，由于以使压力传感器的感压面与主体的部件安装面平行的方式来配置该压力传感器，因此，如果要进一步减小整体的宽度方向的尺寸，则感压面的面积会变小，从而有可能导致灵敏度降低。该情况成为小型化、尤其是使宽度方向缩小的瓶颈(bottleneck)。

发明内容

本发明是鉴于如上所述的问题点而做出的发明，本发明的目的在于提供如下的压力传感器、流量测量机构、或者质量流量控制器，所述的压力传感器、流量测量机构、或者质量流量控制器不会导致压力测量灵敏度的降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。

即，本发明的流量测量机构，其包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；流体阻力部件，切断所述内部流路，并且具有阻力流路，该阻力流路连通被切断而成的上游侧内部流路及下游侧内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对所述上游侧内部流路或下游侧内部流路中的至少一方的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述阻力流路的阻力值及所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述流量测量机构的特征在于：所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。

按照所述的流量测量机构，可以增大压力传感器的感压面从而提高压力灵敏度特性，同时可以显著地减小宽度方向尺寸，即，可以显著地使与长边方向垂直且与部件安装面平行的尺寸减小。由此，可以紧凑地并排多个流量测量机构。

此外，在所述流体阻力部件中贯通形成有连接通道，并且将所述流体阻力部件设置在所述主体单元与压力传感器之间，在该设置状态下，所述上游侧内部流路与设置在所述压力传感器的压力导入口通过所述连接通道而连通，如此，由于压力传感器层叠配置在流体阻力部件上，因此，可以防止主体单元无必要地变长。而且，按照如上所述的流量测量机构，由于压力传感器与流体阻力部件层叠配置于主体单元的相同一侧，因此，可以尽可能地使压力传感器与流体阻力部件之间的内部流路长度缩短。因此，可以使流量感测(sensing)的响应性提高。

将压力传感器安装在所述主体单元上，由此通过将所述流体阻力部件夹持在所述压力传感器与所述主体单元之间来保持所述流体阻力部件，如此，压力传感器直接发挥作为将流体阻力部件安装在主体单元上的安装件的作用，因此，可以削减部件。

作为能够更紧凑且能够很好地实施密封等的具体方式，可列举如下的方式：预先使凹部在所述主体单元的外表面上开口，所述上游侧内部流路及下游侧内部流路在所述凹部的侧面或底面开口，将所述流体阻力部件收容于所述凹部内，将所述压力传感器安装在主体单元上，由此，由该压力传感器的安装面来对凹部的开口进行密封，并保持流体阻力部件。

为了利用所述流量测量机构形成质量流量控制器，可以设置安装在所述主体单元上的流量调节阀与控制电路，该控制电路对所述流量调节阀进行控制，以使所述流量测量机构的测量流量变成预定的目标流量。