[发明专利]电容式传感器

权利要求书

1.一种电容式传感器，其是能够检测第1电容和第2电容的电容式传感器，其特征在于，包含：

第1构件，所述第1构件具有导电性，且形成有可动的电极板；

第1电极，在所述第1电极和所述电极板之间形成所述第1电容；

第2电极，在所述第2电极和所述电极板之间形成所述第2电容；

第2构件，所述第2构件被设置为在所述第2构件和所述电极板的一个表面之间形成第1空间；和

第3构件，所述第3构件被设置为在所述第3构件和所述电极板的另一个表面之间形成第2空间，

第1气体被封入所述第1空间中，热膨胀率与所述第1气体不同的第2气体被封入所述第2空间中。

2.一种电容式传感器，其是能够检测第1电容和第2电容的电容式传感器，其特征在于，包含：

第1构件，所述第1构件具有导电性，且形成有可动的电极板；

第1电极，在所述第1电极和所述电极板之间形成所述第1电容；

第2电极，所述第2电极用来形成所述第2电容；

第2构件，所述第2构件被设置为在所述第2构件和所述电极板的一个表面之间形成第1空间；和

第3构件，所述第3构件被设置为在所述第3构件和所述电极板的另一个表面之间形成第2空间，

第1气体被封入所述第1空间中，热膨胀率与所述第1气体不同的第2气体被封入所述第2空间中。

3.如权利要求2所述的电容式传感器，其特征在于，所述第1构件形成有具有导电性的电极部，在所述电极部和所述第2电极之间形成所述第2电容。

4.如权利要求2所述的电容式传感器，其特征在于，还包括第3电极，在所述第3电极和第2电极之间形成第2电容。

5.如权利要求2所述的电容式传感器，其特征在于，还包括具有导电性的、形成有电极部的第4构件，在该电极部和所述第2电极之间形成所述第2电容。

6.如权利要求1～5中任一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述电极板在朝向封入有所述第1气体和所述第2气体中热膨胀率高的一方的气体的空间的表面具有台面形状。

7.如权利要求1～6中任一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述第1构件包括：形成有所述电极板的第1导电层、第2导电层、和介于该第1导电层和该第2导电层之间的绝缘层。

8.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述第1构件包括：形成有所述电极板的第1导电层、形成有所述第2电极的第2导电层、和介于该第1导电层和该第2导电层之间的绝缘层。

9.如权利要求1～8中任一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述第1构件中形成有收纳吸气材料的、与所述第1空间连通的第3空间，所述第1气体为真空状态。