[发明专利]CO2气体放电激光器的预电离方法

权利要求书

1.在RF供电的气体放电激光器中，包括放电电极和在这些电极之间的激光气体混合物，当将该RF电源用于这些电极时，电离该激光气体混合物，当已经将该RF电源使用了足以点着放电的持续时间时，启动激光动作，一种预电离该激光气体混合物的方法，包括步骤：

启动到这些电极的RF电源的应用；

监视来自这些电极的反射回来的RF电源；和

当该监视的反射RF电源落在指示激光动作即将启动的预定等级之下时，终止该RF电源到这些电极的应用以阻止该激光动作发生。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括步骤：确定期间能够将该RF电源用于这些电极而不期望激光动作发生的最大时间周期，如果在已经逝去该估计的最大时间周期之前该监视的反射RF电源未落在指示激光动作即将启动的预定等级之下，在已经逝去该最大时间周期之后终止该RF电源的应用。

3.如权利要求2所述的预电离方法，进一步包括步骤：在期间该激光气体混合物被充分电离以促进点着放电的预定时间周期之后重复该启动和监视步骤。

4.如权利要求2所述的预电离方法，进一步包括步骤：在期间该激光气体混合物被充分电离以促进点着放电的预定时间周期之后重复该启动和监视步骤。

5.在RF供电的气体放电激光器中，包括放电电极和在这些电极之间的激光气体混合物，当将该RF电源用于这些电极时，电离该激光气体混合物，当已经将该RF电源使用了足以点着放电的持续时间时，启动激光动作，一种预电离该激光气体混合物的方法，包括步骤：

(a)确定期间能够将该RF电源用于这些电极而不期望发生激光动作的最大时间周期；

(b)启动到这些电极的RF电源的应用；

(c)监视来自这些电极的反射回来的RF电源；

(d)如果在已经将RF电源用于这些电极达到该估计的最大时间周期之前该监视的反射RF电源落在指示激光动作即将启动的预定等级之下，在已经逝去该估计时间以阻止该激光动作发生之前之后终止该RF电源到这些电极的应用，否则当该估计的最大时间已经逝去时终止该RF电源到这些电极的应用；

(e)重复步骤(b)，(c)和(d)预定数量的次数，使用在重复之间的预定次数；和

(c)如果在步骤(b)，(c)和(d)的任意重复期间该监视的反射RF电源未落在指示激光动作即将启动的预定等级之下，提供指示该情况的故障信号。

6.在RF供电的气体放电激光器中，包括放电电极和在这些电极之间的激光气体混合物，当将该RF电源用于这些电极时，电离该激光气体混合物，当已经将该RF电源使用了足以点着放电的持续时间时，启动激光动作，一种预电离该激光气体混合物的方法，包括步骤：

(a)确定期间能够将该RF电源用于这些电极而不期望发生激光动作的第一最大时间周期；

(b)估计期间能够将该RF电源用于这些电极而不启动激光动作的第二最大时间周期，该第二最大时间明显地小于该第一最大时间周期；

(c)启动到这些电极的RF电源的应用；

(d)监视从这些电极反射回来的RF电源；

(e)若干在步骤(d)期间未检测到任意RF电源，终止该RF电源到这些电极的应用，当该第二估计最大时间已经逝去时，重复步骤(c)，(d)和(e)，使用在重复之间的第一预定间隔，提供指示尚未监视到任意反射RF电源的第一故障信号；否则

(f)如果在已经将RF电源用于这些电极达到该估计的最大时间周期之前该监视的反射RF电源落在指示激光动作即将启动的预定等级之下，在已经逝去该估计第一时间以阻止该激光动作发生之前之后终止该RF电源到这些电极的应用，否则当该第一估计的最大时间已经逝去时终止该RF电源到这些电极的应用。

7.如权利要求6所述的预电离方法，进一步包括，跟随步骤(f)，使用重复之间的预定时间间隔重复步骤(c)，(d)和(f)预定数量次数的步骤(g)，如果在步骤(c)，(d)和(f)的任意重复期间该监视的反射RF电源未落在指示激光动作即将启动的预定等级之下，提供指示该情况的第二故障信号。