[发明专利]图像处理算法的评估

权利要求书

1.一种评估图像处理算法的方法，包括：

改变成像系统的模型的参数，并且对于该参数的每次改变，用数据处理器计算相应的样本图像；

将图像处理算法应用到所计算的相应的样本图像上；以及

确定该图像处理算法检测参数的改变的能力。

2.如权利要求1的方法，其中所述成像系统按照电磁辐射、电子或离子的方式来操作以形成图像。

3.如权利要求1的方法，其中改变的参数包括聚焦、透镜像差、透镜畸变、照明均匀性、照明噪声、检测器噪声、数值孔径、波长和模糊中的至少一种。

4.如权利要求1的方法，其中改变的参数包括样本属性。

5.如权利要求4的方法，其中所述样本属性包括样本特征类型、样本特征尺寸、样本光学属性中的至少一种，其中样本光学属性包括透射和相位、反射率、透射和相移中的至少一种。

6.如权利要求1的方法，其中所述成像系统包括光掩模检测工具，并且其中所述图像处理算法用于检测光掩模缺陷。

7.如权利要求1的方法，进一步包括基于确定所述图像处理算法检测参数的改变的能力的步骤所得到的结果，通过把聚焦偏移预定量，来改善基于方差的自动聚焦算法的性能。

8.如权利要求1的方法，进一步包括基于确定所述图像处理算法检测参数的改变的能力的步骤所得到的结果，通过调整所述算法的输出，来改善所述图像处理算法的性能。

9.一种评估图像压缩和解压缩算法的方法，包括：

使用数据处理器，将不同程度的噪声注入到经过计算的样本图像中，产生具有不同程度的图像恶化的第一组计算图像；

将至少一种噪声检测算法应用到该第一组计算图像上，用以评估所述至少一种噪声检测算法在第一组计算图像中检测图像恶化的效果；

将至少两种不同的压缩/解压缩算法应用到所述第一组计算图像上，用以产生至少第二组和第三组计算图像；

将所述至少一种噪声检测算法应用到所产生的至少第二组和第三组计算图像上；以及

确定所述至少两种图像压缩/解压缩算法中的哪一种引入了最少的额外的图像恶化。

10.如权利要求9的方法，其中图像恶化包括模糊、照明不均匀性、空间畸变和透镜像差中的至少一种。

11.一种计算机可读存储介质，包含计算机软件指令，由数据处理器来执行该计算机软件指令产生如下操作：

改变成像系统的模型的参数，并且对于所述参数的每次改变，计算相应的样本图像；

将图像处理算法应用到所计算的相应的样本图像上；以及

确定所述图像处理算法检测参数的改变的能力。

12.如权利要求11的计算机可读存储介质，其中所述成像系统按照电磁辐射、电子或离子的方式来操作以形成图像。

13.如权利要求11的计算机可读存储介质，其中改变的参数包括聚焦、透镜像差、透镜畸变、照明均匀性、照明噪声、检测器噪声、数值孔径、波长和模糊中的至少一种。

14.如权利要求11的计算机可读存储介质，其中改变的参数包括样本属性。

15.如权利要求14的计算机可读存储介质，其中所述样本属性包括样本特征类型、样本特征尺寸、样本光学属性中的至少一种，其中所述样本光学属性包括透射和相位、反射率、透射和相移中的至少一种。

16.如权利要求11的计算机可读存储介质，其中所述成像系统包括光掩模检测工具，并且其中所述图像处理算法用于检测光掩模缺陷。

17.如权利要求11的计算机可读存储介质，进一步包括基于确定所述图像处理算法检测参数的改变的能力的步骤所得到的结果，通过以预定量偏移聚焦，来改善基于方差的自动聚焦算法的性能。

18.如权利要求11的计算机可读存储介质，进一步包括基于确定所述图像处理算法检测参数的改变的能力的步骤所得到的结果，通过调整所述图像处理算法的输出，来改善该图像处理算法的性能。