[发明专利]用于借助于激光三角法进行层厚度测量的方法和装置无效

专利信息
申请号: 201080047224.8 申请日: 2010-06-21
公开(公告)号: CN102575927A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 托尔斯滕·梅尔策-约基施;安德烈亚斯·奥佩特;迪米特里奥斯·托迈迪斯 申请(专利权)人: 西门子公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;田军锋
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 借助于 激光 三角 进行 厚度 测量 方法 装置
【权利要求书】:

1.用于确定待覆层的构件(1、120、130、155)的层厚度的方法,其中在覆层(II)之前(I)和期间或者之后(III)借助于激光三角法测量所述构件(1、120、130、155),并且从所述构件(1、120、130、155)的不同的测量(V)中计算层厚度,其中考虑所述构件(1、120、130、155)的变形。

2.根据权利要求1所述的方法,其中层厚度测量仅局部地,尤其在一些点上执行。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中在所述构件(1、120、130、155)进行覆层之后执行所述激光三角测量。

4.根据权利要求1、2或3所述的方法,其中在所述构件(1、120、130、155)进行覆层期间执行所述激光三角测量。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的方法,其中在多个位置(13’、13”、......)上执行所述层厚度测量。

6.根据权利要求1、3或4所述的方法,其中大面积地执行所述层厚度测量。

7.根据权利要求1、2、3、4、5或6所述的方法,其中仅在进行覆层之前和仅在之后执行所述层厚度测量。

8.根据权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的方法,其中使用在所述构件(1、120、130、155)上的至少一个参考点,以便确定叶片(120、130)的所述变形。

9.装置(10),尤其用于执行根据权利要求1、2、3、4、5、6、7或8所述的方法,所述装置具有:

用于所述构件(1、120、130、155)的支架,

构件(1、120、130、155),

其中所述支架或者所述构件(1、120、130、155)具有用于确定所述构件(1、120、130、155)的所述变形的参考点,

用于所述激光三角测量的传感器(4),

运算单元(IV),

所述运算单元在覆层(II)之前、期间或者之后获取所述构件(1、120、130、155)的不同的测量,并且实现在所述测量之间求差(V),由此能够测定层厚度。

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