[发明专利]用于借助于激光三角法进行层厚度测量的方法和装置无效
申请号: | 201080047224.8 | 申请日: | 2010-06-21 |
公开(公告)号: | CN102575927A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 托尔斯滕·梅尔策-约基施;安德烈亚斯·奥佩特;迪米特里奥斯·托迈迪斯 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;田军锋 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 借助于 激光 三角 进行 厚度 测量 方法 装置 | ||
1.用于确定待覆层的构件(1、120、130、155)的层厚度的方法,其中在覆层(II)之前(I)和期间或者之后(III)借助于激光三角法测量所述构件(1、120、130、155),并且从所述构件(1、120、130、155)的不同的测量(V)中计算层厚度,其中考虑所述构件(1、120、130、155)的变形。
2.根据权利要求1所述的方法,其中层厚度测量仅局部地,尤其在一些点上执行。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中在所述构件(1、120、130、155)进行覆层之后执行所述激光三角测量。
4.根据权利要求1、2或3所述的方法,其中在所述构件(1、120、130、155)进行覆层期间执行所述激光三角测量。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的方法,其中在多个位置(13’、13”、......)上执行所述层厚度测量。
6.根据权利要求1、3或4所述的方法,其中大面积地执行所述层厚度测量。
7.根据权利要求1、2、3、4、5或6所述的方法,其中仅在进行覆层之前和仅在之后执行所述层厚度测量。
8.根据权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的方法,其中使用在所述构件(1、120、130、155)上的至少一个参考点,以便确定叶片(120、130)的所述变形。
9.装置(10),尤其用于执行根据权利要求1、2、3、4、5、6、7或8所述的方法,所述装置具有:
用于所述构件(1、120、130、155)的支架,
构件(1、120、130、155),
其中所述支架或者所述构件(1、120、130、155)具有用于确定所述构件(1、120、130、155)的所述变形的参考点,
用于所述激光三角测量的传感器(4),
运算单元(IV),
所述运算单元在覆层(II)之前、期间或者之后获取所述构件(1、120、130、155)的不同的测量,并且实现在所述测量之间求差(V),由此能够测定层厚度。
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