[发明专利]用于晶片载体减震的系统及方法

权利要求书

1.与具有晶片载体和驱动部分的晶片清洗系统一起使用的控制系统，该晶片载体能沿第一方向和第二方向的路径移动，该驱动部分能沿所述第一方向和所述第二方向可控地移动所述晶片载体，该控制系统包括：

振动传感器部分，其能检测该晶片载体的振动，并能根据所检测到的振动输出振动信号；和

晶片载体位置控制器，其能基于该振动信号指示该驱动部分修正该晶片载体的运动以减少该检测到的振动。

2.根据权利要求1所述的控制系统，进一步包括处理部分，其能基于第一时间段的振动信号提供在该第一时间段的所述晶片载体振动的第一分析，能基于第二时间段的振动信号提供在该第二时间段的所述晶片载体振动的第二分析，并且基于所述第一分析和所述第二分析的比较产生比较信号。

3.根据权利要求2所述的控制系统，其中，所述处理部分还能建立阈值，并当所述第一分析和所述第二分析之间的差异大于所述阈值时能产生阈值信号。

4.根据权利3所述的控制系统，其中，所述晶片载体位置控制器还能基于所述阈值信号指示该驱动部分修正该晶片载体的运动。

5.根据权利要求1所述的控制系统，

其中，所述传感器部分包括第一振动传感器和第二振动传感器，

其中，所述第一振动传感器设置在第一位置，并能检测所述晶片载体的第一振动以及能基于所检测到的第一振动输出第一振动信号，和

其中，所述第二振动传感器设置在第二位置，并能检测所述晶片载体的第二振动以及能基于所检测到的第二振动输出第二振动信号。

6.根据权利要求5所述的控制系统，还包括处理部分，其能基于第一时间段的所述第一振动信号和该第一时间段的所述第二振动信号中的至少一个，提供在该第一时间段的所述晶片载体振动的第一分析，能基于第二时间段的所述第一振动信号和该第二时间段的所述第二振动信号中的至少一个，提供在该第二时间段的所述晶片载体振动的第二分析，并且基于所述第一分析和所述第二分析的比较产生比较信号。

7.根据权利要求6所述的控制系统，其中，所述处理部分还能建立阈值，并且当所述第一分析和所述第二分析之间的差异大于所述阈值时能产生阈值信号。

8.根据权利要求7所述的控制系统，其中，所述晶片载体位置控制器还能基于所述阈值信号指示该驱动部分修正该晶片载体的运动。

9.控制具有晶片载体和驱动部分的晶片清洗系统的方法，该晶片载体能沿第一方向和第二方向的路径移动，该驱动部分能沿所述第一个方向和第二个方向可控地移动所述晶片载体，该方法包括：

检测所述晶片载体的振动；

基于所检测到的振动输出振动信号；和

基于振动信号指示所述驱动部分修正该晶片载体的运动，以减少所检测到的振动。

10.根据权利要求9所述的方法，进一步包括：

在第一时间段的振动信号的基础上，提供在所述第一时间段的所述晶片载体振动的第一分析；

在第二时间段的振动信号的基础上，提供在所述第二时间段的所述晶片载体振动的第二分析；以及

基于所述第一分析和所述第二分析的比较，产生比较信号。

11.根据权利要求10所述的方法，进一步包括：

建立阈值；和

当所述第一分析和所述第二分析之间的差异大于所述阈值时产生阈值信号。

12.根据权利要求11所述的方法，进一步包括基于所述阈值信号指示该驱动部分修正该晶片载体的运动。

13.根据权利要求9所述的方法，

其中，所述检测所述晶片载体的振动包括检测所述晶片载体的第一振动和检测所述晶片载体的第二振动，和

其中，所述基于所检测到的振动输出振动信号包括基于所检测到的第一振动输出第一振动信号和基于所检测到的第二振动输出第二振动信号。