[发明专利]纳米粒子的产生

权利要求书

1.一种用于产生纳米粒子的设备，包括：

腔室；

磁控管，其位于所述腔室之内，并且包括：圆柱形靶，其至少具有待沉积材料的外表面和中空内部；处于所述中空内部之内的磁通量源，其被布置为在相对于所述圆柱形靶的径向向外方向上呈现磁极；和驱动装置，其用于对所述靶和所述磁通量源施加轴向上的相对运动，

所述腔室具有至少一个孔并且所述腔室被放置在与所述腔室的内部相比气压相对较低的容器内。

2.根据权利要求1的用于产生纳米粒子的设备，其中所述腔室实质为圆柱形。

3.根据权利要求2的用于产生纳米粒子的设备，其中所述腔室实质与所述靶同轴。

4.根据前述权利要求中任一项的用于产生纳米粒子的设备，其中所述运动是往复运动。

5.根据前述权利要求中任一项的用于产生纳米粒子的设备，其中所述磁通量源保持静止并且所述靶移动。

6.根据前述权利要求中任一项的用于产生纳米粒子的设备，其中所述磁通量源是多个永磁体。

7.根据前述权利要求中任一项的用于产生纳米粒子的设备，其中所述磁通量源是电磁体。

8.根据前述权利要求中任一项的用于产生纳米粒子的设备，其中所述磁通量源在围绕所述靶的圆周带中呈现交替的北磁极和南磁极。

9.根据前述权利要求中任一项的用于产生纳米粒子的设备，其中所述磁通量源在沿圆周隔开且轴向协同定位的多个第一位置处呈现出在径向向外方向上的北磁极，并且所述磁通量源在沿圆周隔开且轴向协同定位、并且与所述第一位置沿轴向隔开的多个第二位置处呈现出在径向向外方向上的南磁极。

10.根据前述权利要求中任一项的用于产生纳米粒子的设备，其中所述靶包括至少一个用于冷却液流体的轴向延伸的管道。

11.一种用于产生纳米粒子的设备，其实质上如参照附图和/或如附图中示出而公开于此的那样。