[发明专利]卸载用于气体气相沉积的薄膜暗盒的设备和方法无效
申请号: | 201080049086.7 | 申请日: | 2010-08-31 |
公开(公告)号: | CN102597314A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | C·埃斯特拉达;R·D·基纳德;K·H·施尔基图斯 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/54;B29C35/00;B29C59/00;B65D83/00;B65H45/00;C23C16/455 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 王伦伟;李炳爱 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 卸载 用于 气体 沉积 薄膜 暗盒 设备 方法 | ||
1.卸载用于气体气相沉积方法的薄膜暗盒的设备,所述设备包括:
支撑用于气体气相沉积方法的负载暗盒的暗盒安装支架,所述负载暗盒具有沿边缘支撑的、螺旋卷绕包裹的涂覆的薄膜,所述薄膜具有自由端;
连接到所述暗盒的张紧装置;
用于保护性薄膜辊的安装支架,所述保护性薄膜具有自由端;
能够接纳所述涂覆的薄膜和所述保护性薄膜的自由端从而形成层压体的压料辊;
用于收集来自所述压料辊的层压体的收卷辊;和
能够将粘合剂施用到所述保护性薄膜的粘合剂涂布机,所述涂布机位于所述保护性薄膜辊和所述压料辊之间。
2.权利要求1的设备,其中所述粘合剂涂布机将液体粘合剂施用到所述保护性薄膜,所述设备还包括:
干燥机,所述干燥机位于所述粘合剂涂布机和所述层压机之间以干燥所述液体粘合剂。
3.权利要求1的设备,其中所述粘合剂涂布机将固体粘合剂施用到所述保护性薄膜。
4.卸载用于气体气相沉积方法的薄膜暗盒的方法,所述方法包括以下步骤:
提供保持涂覆的薄膜的负载暗盒,所述负载暗盒包括:
具有轴向延伸缝槽的中心轴,所述轴向延伸缝槽在所述中心轴中形成,
安装到所述轴的第一端板和第二端板,在每个端板中具有螺旋凹槽,每个端板中的所述螺旋凹槽被轴向对齐,
所述端板被间隔开预定的轮辐之间的间距
并且涂覆的薄膜由所述螺旋凹槽支撑,所述薄膜具有自由端;
提供保护性薄膜辊;
将粘合剂施用到所述保护性薄膜以形成涂覆的保护性薄膜;
任选地,干燥所述涂覆的保护性薄膜;
层压所述涂覆的薄膜和所述涂覆的保护性薄膜以形成层压体;以及
在收卷辊上收集层压体。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的