[发明专利]擦拭清扫装置和擦拭清扫方法

说明书

技术领域

本发明涉及擦拭清扫装置和擦拭清扫方法。

背景技术

以往，在液晶显示装置等的制造中，为了提高针对形成于玻璃基板的边缘部的端子部安装IC(Integrated Circuit：集成电路)芯片、配线基板等的安装工序中的质量和成品率，在该安装工序之前采用以除去附着于玻璃基板的端子形成面的异物为目的的清扫工序。

作为在这样的清扫工序中所使用的清扫装置，已知使用带状的长条片材进行擦拭清扫的装置。例如，在专利文献1中公开了如下清扫装置：其一边使作为被处理体的平板前进一边对该平板的两面供给清洗液，以通过一对压辊从表里两侧夹着该平板的方式将研扫带(长条片材)按压到该平板的表面，并且使这些研扫带在与平板的前进方向相反的方向行进，使按压到该平板的单面的研扫带进一步在横向往复移动而同时研扫平板的两面。并且记载了：由此，能以短时间高度地将平板的两面研扫得平坦且洁净。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2001-62696号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在如上述的清扫装置中使用清洗液擦拭清扫，因此被清扫的基板表面为湿润状态，有可能在向安装工序等下一工序中搬运的中途漂浮异物再次附着。在异物再次附着于基板的端子形成面的情况下，在安装于该端子形成面的IC芯片、配线基板与基板上的端子之间产生连接不良，制造成品率下降。

因此，为了防止异物向基板表面的再次附着，考虑到在使用清洗液进行了擦拭清扫后擦拭该基板表面的湿气，但是当与使用清洗液的擦拭异物用的片材分开地将湿气擦拭用的片材追加到清扫装置时，需要这2个片材，因此运行成本增加。

本发明是鉴于这样的方面而完成的，其目的在于能以低成本防止异物向被处理体的再次附着。

用于解决问题的方案

为了达成上述目的，本发明在利用浸渍有清洗液的长条片材擦拭附着于被处理体的异物后利用处于干燥状态的上述长条片材擦拭擦拭异物后的被处理体的湿气。

具体地，本发明以如下擦拭清扫装置为对象，采取后面的技术方案，该擦拭清扫装置具备：搬运单元，其沿着搬运路径将被处理体搬运到清扫作业位置；片材供给单元，其设于上述搬运路径侧方的上方，供给带状的长条片材；第1按压头，其在上述清扫作业位置的搬运路径上方能上下运动地靠近配置，通过向下方移动将从上述片材供给单元供给的长条片材按压到上述搬运单元上的被处理体；以及清洗液供给单元，其在上述第1按压头附近对上述长条片材浸渍地供给清洗液，在进行上述被处理体的向搬运方向的移动和上述第1按压头的向上述被处理体的搬运方向的反方向的移动中的至少一方的动作的过程中，使浸渍有上述清洗液的长条片材以规定按压力在上述被处理体上滑动，由此擦拭附着于该被处理体的异物。

即，第1发明的特征在于，具备：第2按压头，其相对于上述第1按压头在上述被处理体的搬运方向下游侧能上下运动地并设，通过向下方移动将上述长条片材按压到上述被处理体；片材反转单元，其以上述长条片材的被上述第1按压头向上述被处理体按压的按压面和被上述第2按压头向上述被处理体按压的按压面为相反面的方式使上述长条片材反转，构成为：在进行上述被处理体的向搬运方向的移动和上述第2按压头的向上述被处理体的搬运方向的反方向的移动中的至少一方的动作的过程中，使由上述清洗液供给单元供给清洗液前的干燥状态的上述长条片材或者使经过上述第1按压头而使浸渍的清洗液干燥后的状态的上述长条片材以规定按压力在上述被处理体上滑动，由此擦拭该被处理体的湿气。

第2发明在第1发明中，其特征在于，上述长条片材包括表面粗糙度在一面和另一面不同的布，构成为：利用表面粗糙度小的一方的长条片材面擦拭附着于上述被处理体的异物，利用表面粗糙度大的一方的长条片材面擦拭上述被处理体的湿气。

第3发明在第1发明或者第2发明中，其特征在于，在上述第1按压头和第2按压头上，以从头上部依次经过头顶端部和头下部输送的方式缠绕有上述长条片材，上述片材反转单元具备设于上述第1按压头后侧的第1反转导辊和设于上述第2按压头后侧的第2反转导辊，该第1反转导辊和第2反转导辊配置成相互的间隔朝向上述搬运单元侧扩大的八字状，构成为：利用该第1反转导辊和第2反转导辊使上述长条片材从上述第1按压头和第2按压头中的一方反转而架设到另一方。